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Pub. No.:    WO/2012/053180    International Application No.:    PCT/JP2011/005796
Publication Date: 26.04.2012 International Filing Date: 17.10.2011
B41F 15/08 (2006.01), B41F 15/26 (2006.01), B41M 1/12 (2006.01), H05K 3/34 (2006.01)
Applicants: Panasonic Corporation [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP) (For All Designated States Except US).
ABE, Seikou; (For US Only).
YAZAWA, Takashi; (For US Only)
Inventors: ABE, Seikou; .
YAZAWA, Takashi;
Agent: OGURI, Shohei; Eikoh Patent Firm, Toranomon East Bldg. 10F, 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Priority Data:
2010-234321 19.10.2010 JP
(JA) スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法
Abstract: front page image
(EN)Provided are a screen printing device and a screen printing method such that, in a configuration which horizontally moves an imaging unit having two imaging optical axes for imaging a substrate and a mask plate, substrate positioning accuracy can be improved by appropriately correcting errors in the relative positions of the imaging optical axes or position errors caused by movement of the imaging unit. An optical axes calibration processing step of detecting the relative positions between the imaging optical axes in the horizontal direction, and a surface correction data preparation processing step of detecting a localized positioned misregistration in the imaging optical axes caused by the movement of the imaging unit, are performed prior to a mark imaging step that is performed with the aim of position detection of fiducial marks for positioning of the substrate and mask, and a pre-production accuracy evaluation step for evaluating substrate positioning accuracy using a validation substrate and mask prior to starting production, and a post-production accuracy evaluation step of evaluating substrate positioning accuracy using an actual production substrate and mask subsequent to starting production, are performed.
(FR)La présente invention se rapporte à un dispositif de sérigraphie et à un procédé de sérigraphie tels que, dans une configuration qui déplace horizontalement une unité de formation d'image ayant deux axes optiques de formation d'image pour former une image sur un substrat et une plaque de masque, la précision de positionnement de substrat peut être améliorée grâce à la correction appropriée d'erreurs dans les positions relatives des axes optiques de formation d'image ou d'erreurs de position provoquées par le déplacement de l'unité de formation d'image. Une étape de traitement d'étalonnage d'axes optiques consistant à détecter les positions relatives entre les axes optiques de formation d'image dans la direction horizontale, et une étape de traitement de préparation de données de correction de surface consistant à détecter un défaut d'alignement de position localisé des axes optiques de formation d'image provoqué par le déplacement de l'unité de formation d'image, sont effectuées avant une étape de formation d'image de marque qui est réalisée dans le but de détecter la position de repères pour le positionnement du substrat et du masque, et une étape d'évaluation de précision de pré-production destinée à évaluer la précision de positionnement de substrat à l'aide d'un substrat et d'un masque de validation avant de démarrer la production, et une étape d'évaluation de précision de postproduction consistant à évaluer la précision de positionnement de substrat à l'aide de substrat et masque de production réels après le démarrage de la production, sont effectuées.
(JA) 基板とマスクプレートを撮像対象とする2つの撮像光軸を備えた撮像部を水平移動させる構成において、撮像光軸の相対位置の誤差や撮像部の移動に起因して生じる位置誤差を適正に補正して基板位置合わせ精度を向上させることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。 基板およびマスクの位置合わせのために認識マークの位置検出を目的として実行されるマーク撮像工程に先立って、撮像光軸間の水平方向相対位置を検出する光軸キャリブレーション処理工程と、撮像部の移動に起因して生じる撮像光軸の局地的な位置ずれを検出する面補正データ作成処理工程とを実行し、生産開始前に検証用の基板、マスクを用いて基板位置合わせ精度を評価するために生産開始前精度評価工程を、生産開始後に実生産用の基板、マスクを用いて、生産開始後の基板位置合わせ精度を評価する生産開始後精度評価工程を実行する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)