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Pub. No.:    WO/2012/053171    International Application No.:    PCT/JP2011/005773
Publication Date: 26.04.2012 International Filing Date: 14.10.2011
C23C 14/56 (2006.01)
Applicants: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (For All Designated States Except US).
FUJIMOTO, Shinya [JP/JP]; (JP) (For US Only).
HAYASHI, Nobuhiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
HIRONO, Takayoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TADA, Isao [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: FUJIMOTO, Shinya; (JP).
HAYASHI, Nobuhiro; (JP).
HIRONO, Takayoshi; (JP).
TADA, Isao; (JP)
Agent: SEIGA PATENT AND TRADEMARK CORPORATION; 9th Fl., Saisho Bldg., 1-14, Nishi-Gotanda 8-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031 (JP)
Priority Data:
2010-235830 20.10.2010 JP
(JA) 真空処理装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a vacuum film-forming apparatus, which has a vacuum processing chamber and auxiliary vacuum chambers separately configured to be convenient for transport and the like, and which is easily assembled at an installation site, and has excellent maintainability. The vacuum film-forming apparatus is configured by consecutively installing: a vacuum processing chamber (1), which has a drum (15) having a part of a long sheet-like base material (S) wound thereon, a plurality of rollers (16c), which are disposed below the drum and transfer the sheet-like base material from the upstream, and a processing unit (4); an upstream auxiliary vacuum chamber (2) that feeds the sheet-like base material to a vacuum processing chamber; and a downstream auxiliary vacuum chamber (3) that takes up and recovers the sheet-like base material. The vacuum processing chamber and the auxiliary vacuum chambers are respectively demarcated by disposing bottom-opened box bodies with the bottom side on the base plates, which are placed on mounts disposed on the floor surface. The rollers are configured as an integrated roller unit, and are removably provided in a space below the drum in the vacuum processing chamber.
(FR)L'invention concerne un appareil de formation de film sous vide, qui a une chambre de traitement sous vide et des chambres sous vide auxiliaires configurées séparément pour être pratiques pour un transport et similaire, et qui est facilement assemblé à un site d'installation, et présente une excellente maintenabilité. L'appareil de formation de film sous vide est configuré par des installations successives de : une chambre de traitement sous vide (1), qui a un tambour (15) ayant une partie d'un matériau de base (S) de type feuille, long, enroulé sur celui-ci, une pluralité de rouleaux (16c), qui sont disposés au-dessous du tambour et transfèrent le matériau de base de type feuille depuis l'amont, et une unité de traitement (4) ; une chambre sous vide auxiliaire (2) en amont qui introduit le matériau de base de type feuille dans une chambre de traitement sous vide ; et une chambre sous vide auxiliaire (3) en aval qui reprend et récupère le matériau de base de type feuille. La chambre de traitement sous vide et les chambres sous vide auxiliaires sont respectivement démarquées par disposition de corps de boîte à fond ouvert ayant le côté fond sur les plaques de base, lesquelles sont placées sur des supports disposés sur la surface du sol. Les rouleaux sont configurés en tant qu'unité de rouleaux intégrés, et sont disposés de façon amovible dans un espace au-dessous du tambour dans la chambre de traitement sous vide.
(JA) 運搬等にとって便利なように真空処理室と真空補助室とを分けて構成し、設置現場での組立作業が容易でメンテナンス性のよい真空成膜装置を提供する。 長尺のシート状基材Sの一部が巻回されるドラム15と、このドラムの下方に配置されて、上流側からシート状基材を搬送する複数のローラ16cと、処理ユニット4とを有する真空処理室1と、シート状基材を真空処理室へと送る上流側の真空補助室2と、シート状基材を巻取り回収する下流側の真空補助室3とを連設して構成される。上記真空処理室及び真空補助室が、床面に設置される架台上に載置されるベースプレートに、下面に開口した箱体をその下面側から設置して夫々画成される。複数のローラは、一体のローラユニットとして構成し、真空処理室内にてドラムの下方空間に出し入れ自在に設けられる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)