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1. (WO2012052238) MICROMECHANICAL DEVICE FOR MEASURING AN ACCELERATION, A PRESSURE OR THE LIKE AND A CORRESPONDING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/052238    International Application No.:    PCT/EP2011/066209
Publication Date: 26.04.2012 International Filing Date: 19.09.2011
IPC:
G01P 15/08 (2006.01), G01L 9/12 (2006.01), G01P 15/125 (2006.01), G01P 15/18 (2013.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
FEYH, Ando [US/US]; (US) (For US Only).
LEINENBACH, Christina [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FRANKE, Axel [DE/DE]; (DE) (For US Only).
O`BRIEN, Gery [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: FEYH, Ando; (US).
LEINENBACH, Christina; (DE).
FRANKE, Axel; (DE).
O`BRIEN, Gery; (US)
Common
Representative:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Priority Data:
10 2010 042 687.3 20.10.2010 DE
Title (DE) MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG ZUR MESSUNG EINER BESCHLEUNIGUNG, EINES DRUCKS ODER DERGLEICHEN SOWIE ENTSPRECHENDES VERFAHREN
(EN) MICROMECHANICAL DEVICE FOR MEASURING AN ACCELERATION, A PRESSURE OR THE LIKE AND A CORRESPONDING METHOD
(FR) DISPOSITIF MICROMÉCANIQUE POUR MESURER UNE ACCÉLÉRATION, UNE PRESSION OU ANALOGUES AINSI QUE PROCÉDÉ CORRESPONDANT
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine mikromechanische Vorrichtung zur Messung einer Beschleunigung, eines Drucks oder dergleichen. Sie umfasst ein Substrat mit zumindest einer feststehenden Elektrode, eine am Substrat beweglich angeordnete seismische Masse, zumindest eine Masseelektrode, die an der seismischen Masse angeordnet ist sowie Rückstellmittel zum Zurückführen der seismischen Masse in eine Ausgangslage, wobei die feststehende Elektrode und die Massenelektrode in einer Messebene zur Messung einer Beschleunigung, eines Drucks oder dergleichen in der Messebene ausgebildet sind, und wobei die feststehende Elektrode und die Massenelektrode zur Messung einer senkrecht zur Messebene auf die seismischen Masse einwirkenden Beschleunigung, Druckes oder dergleichen ausgebildet sind. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein entsprechendes Verfahren sowie eine entsprechende Verwendung.
(EN)The invention relates to a micromechanical device for measuring an acceleration, a pressure or the like. It comprises a substrate having at least one fixed electrode, a seismic mass moveably arranged on the substrate, at least one ground electrode, which is arranged on the seismic mass, and resetting means for returning the seismic mass into an initial position, wherein the fixed electrode and the ground electrode are configured in one measurement plane for measuring an acceleration, a pressure or the like in the measurement plane, and wherein the fixed electrode and the ground electrode are configured for measuring an acceleration, pressure or the like acting on the seismic mass perpendicular to the measurement plane. The invention likewise relates to a corresponding method and a corresponding use.
(FR)L'invention concerne un dispositif micromécanique pour mesurer une accélération, une pression ou analogues. Ce dispositif comprend un substrat pourvu d'au moins une électrode fixe, une masse sismique montée mobile sur le substrat, au moins une électrode de masse qui est disposée sur la masse sismique ainsi que des moyens de rappel pour ramener la masse sismique dans une position de départ, l'électrode fixe et l'électrode de masse étant formées dans un plan de mesure pour mesurer une accélération, une pression ou analogues dans le plan de mesure, et l'électrode fixe et l'électrode de masse étant conçues pour mesurer une accélération, une pression ou analogue agissant sur la masse sismique perpendiculairement au plan de mesure. L'invention concerne également un procédé correspondant ainsi qu'une utilisation correspondante.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)