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1. (WO2012051975) METHOD AND DEVICE FOR PLASMA-TREATING WORKPIECES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/051975    International Application No.:    PCT/DE2011/001691
Publication Date: 26.04.2012 International Filing Date: 01.09.2011
IPC:
C23C 16/26 (2006.01), C23C 16/40 (2006.01), C23C 16/503 (2006.01), C23C 16/511 (2006.01), C23C 16/515 (2006.01), C23C 16/52 (2006.01), B65D 23/02 (2006.01), C23C 16/04 (2006.01), C23C 16/02 (2006.01)
Applicants: KHS CORPOPLAST GMBH [DE/DE]; Meiendorfer Strasse 203 22145 Hamburg (DE) (For All Designated States Except US).
SIEBELS, Sönke [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KYTZIA, Sebastian [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: SIEBELS, Sönke; (DE).
KYTZIA, Sebastian; (DE)
Agent: EMMEL, Thomas; Meissner, Bolte & Partner GbR Beselerstraße 6 22607 Hamburg (DE)
Priority Data:
10 2010 048 960.3 18.10.2010 DE
Title (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PLASMABEHANDLUNG VON WERKSTÜCKEN
(EN) METHOD AND DEVICE FOR PLASMA-TREATING WORKPIECES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA DE PIÈCES
Abstract: front page image
(DE)Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt. Die Plasmakammer ist von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt. Durch die Plasmabehandlung wird eine Beschichtung auf dem Werkstück abgeschieden. Die Zündung des Plasmas erfolgt durch die gepulste Mikrowellenenergie. Von einer Steuerung werden alternierend Einschaltphasen und Ausschaltphasen einer Mikrowelleneinkopplung vorgegeben. Während der Durchführung des Behandlungsvorganges für ein Werkstück wird die Relation zwischen der Dauer der Einschaltphasen und der Dauer der Ausschaltphasen verändert.
(EN)The method and the device are used to plasma-treat workpieces. The workpiece is inserted into a chamber of a treatment station that can be at least partially evacuated. The plasma chamber is bounded by a chamber bottom, a chamber cover, and a lateral chamber wall. A coating is deposited on the workpiece by means of the plasma treatment. The plasma is ignited by pulsed microwave energy. Switch-on phases and switch-off phases of a microwave input are specified by a controller. The relation between the duration of the switch-on phases and the duration of the switch-off phases is changed during the execution of the treatment process for a workpiece.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif de traitement au plasma de pièces. La pièce est insérée dans une chambre d'une station de traitement, dans laquelle chambre le vide peut être créé au moins en partie. La chambre de plasma est délimitée par un fond de chambre, un couvercle de chambre et une paroi latérale de chambre. Le traitement au plasma permet de déposer un revêtement sur la pièce. L'allumage du plasma s'effectue par l'intermédiaire de l'énergie à micro-ondes pulsée. Des phases alternées de mise en marche et de mise à l'arrêt en alternance d'une alimentation en micro-ondes sont prédéfinies par une commande. Pendant la mise en œuvre du processus de traitement pour une pièce, la relation entre la durée des phases de mise en marche et la durée des phases de mise à l'arrêt est modifiée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)