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Pub. No.:    WO/2012/050058    International Application No.:    PCT/JP2011/073209
Publication Date: 19.04.2012 International Filing Date: 07.10.2011
C23C 18/10 (2006.01), C23C 18/02 (2006.01), H01L 21/28 (2006.01), H01L 21/288 (2006.01)
Applicants: JSR CORPORATION [JP/JP]; 9-2, Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058640 (JP) (For All Designated States Except US).
YAMAMOTO, Masahiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NISHIMURA, Hideki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AOKI, Hideyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SAKAI, Tatsuya [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YAMAMOTO, Masahiro; (JP).
NISHIMURA, Hideki; (JP).
AOKI, Hideyuki; (JP).
SAKAI, Tatsuya; (JP)
Agent: HIRATA, Naoyuki; LEAD INTERNATIONAL PATENT OFFICE, Iidabashi IS Building 8F, 1-1, Iidabashi 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1020072 (JP)
Priority Data:
2010-232541 15.10.2010 JP
(JA) アルミニウム膜形成方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a method by which a homogeneous and dense aluminum film can be formed on a substrate more simply and more easily in comparison to a conventional method. A method for the formation of an aluminum film, which includes: an application step of applying a material which is for the formation of an aluminum film and which contains a complex composed of both an amine compound and aluminum hydride to the surface of a metal layer to form a coating, said metal layer consisting of at least one metal selected from among copper, cobalt, molybdenum, tungsten, aluminum, nickel and gold; and a curing step of subjecting the coating to heat treatment and/or photo-irradiation to form an aluminum film.
(FR)L'invention concerne un procédé par lequel un film d'aluminium homogène et dense peut être formé sur un substrat plus simplement et plus facilement par comparaison avec un procédé classique. L'invention concerne un procédé pour la formation d'un film d'aluminium qui comprend : une étape d'application consistant à appliquer une matière qui est destinée à la formation d'un film d'aluminium et qui contient un complexe composé à la fois d'un composé amine et d'hydrure d'aluminium à la surface d'une couche métallique pour former un revêtement, ladite couche métallique consistant en au moins un métal choisi parmi le cuivre, le cobalt, le molybdène, le tungstène, l'aluminium, le nickel et l'or ; et une étape de durcissement consistant à soumettre le revêtement à un traitement thermique et/ou une photo-irradiation pour former un film d'aluminium.
(JA) 基体上に、従来方法に比べてより簡便に、均質かつ緻密なアルミニウム膜を形成する方法を提供する。 アミン化合物と水素化アルミニウムとの錯体を含有するアルミニウム膜形成用材料を、銅、コバルト、モリブデン、タングステン、アルミニウム、ニッケル、および金から選ばれる少なくとも一種の金属からなる金属層の表面に塗布して、塗布膜を形成する塗布工程と、前記塗布膜に対して、加熱処理および光照射処理から選ばれる少なくとも一種の処理を行い、アルミニウム膜を形成する硬化工程を含むアルミニウム膜形成方法。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)