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Pub. No.:    WO/2012/048186    International Application No.:    PCT/US2011/055206
Publication Date: 12.04.2012 International Filing Date: 07.10.2011
G01N 21/88 (2006.01), G02B 5/12 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01)
Applicants: DARK FIELD TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 70 Robinson Boulevard Orange, CT 06477 (US) (For All Designated States Except US).
POTTS, Timothy, A. [US/US]; (US) (For US Only).
OBUCHOWSKI, Arkadiusz [US/US]; (US) (For US Only).
OGIRALA, Siva, Sai Rajesh [IN/US]; (US) (For US Only)
Inventors: POTTS, Timothy, A.; (US).
OBUCHOWSKI, Arkadiusz; (US).
OGIRALA, Siva, Sai Rajesh; (US)
Agent: DELIO, Anthony, P.; Delio & Peterson, LLC 121 Whitney Avenue New Haven, CT 06510 (US)
Priority Data:
61/391,301 08.10.2010 US
Abstract: front page image
(EN)Methods, systems, and apparatus for imaging a substrate through the use of retro- reflective optics and detecting any defects and patterns therein. Through the use of optical imaging, optical focusing is adjusted to capture optical effects of interest in the substrate with enhanced size, precision, clarity and image quality. Imaging data obtained from these images may then be analyzed. Both bright field image data and dark field image data are captured and analyzed to provide accurate and reliable imaging results. The invention is suitable for use in on-line, real-time detection of visual defects and pattern recognition or off-line for non-production use.
(FR)L'invention concerne des procédés, des systèmes et un appareil pour effectuer l'imagerie d'un substrat en utilisant une optique rétro-réfléchissante, et pour détecter des défauts et des motifs dans ce dernier. En utilisant une imagerie d'optique, la focalisation optique est ajustée afin de capturer des effets optiques recherchés dans le substrat avec une taille, une précision, une clarté et une qualité d'image accrues. Les données d'imagerie obtenues à partir de ces images peuvent ensuite être analysées. Des données d'image de champ lumineux et des données d'image de champ sombre sont capturées et analysées pour fournir des résultats d'imagerie précis et fiables. L'invention peut être utilisée pour la détection de défauts visuels et la reconnaissance de motifs en ligne et en temps réel ou pour une utilisation non productive hors ligne.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)