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1. (WO2012046944) FILM COATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PROCESS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/046944    International Application No.:    PCT/KR2011/004771
Publication Date: 12.04.2012 International Filing Date: 29.06.2011
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/26 (2006.01)
Applicants: CO-MS CO., LTD. [KR/KR]; 165-2, Jeongsang-dong, Sangdang-gu Cheongju-si, Chungcheongbuk-do 360-226 (KR) (For All Designated States Except US).
HWANG, Sun-Oh [KR/KR]; (KR) (For US Only)
Inventors: HWANG, Sun-Oh; (KR)
Agent: JEONG, Kang-Won; 607 Mannyun Officetel, 241, Walpyung-Dong, Seo-Gu Daejeon 302-280 (KR)
Priority Data:
10-2010-0096199 04.10.2010 KR
Title (EN) FILM COATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PROCESS
(FR) APPAREIL À PELLICULER DESTINÉ AU TRAITEMENT D'UN SEMI-CONDUCTEUR
(KO) 반도체 제조용 필름 코팅장치
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a film coating apparatus. The film coating apparatus includes: a main roller (10) contacting the other surface of a film; a coating roller (20) parallel and adjacent to the main roller (10) to contact one surface of the film; a coating solution supply roller (30) parallel and adjacent and spaced from the coating roller (20) on a side opposite to that of the main roller (10), the coating solution supply roller (30) applying a coating solution on a surface of the coating roller (20) after the coating solution is smeared on a surface of the coating solution supply roller (30) in a state where a lower portion of the coating solution supply roller (30) is immersed into a coating solution reservoir (39); a film guide part (40) guiding the film into a gap between the main roller (10) and the coating roller (20); a curing unit (50) curing the film on which the coating solution is applied while passing through the gap between the main roller (10) and the coating roller (20) at a high temperature; and a conveyor (60) transferring the film to pass through the curing unit (40).
(FR)La présente invention concerne un appareil à pelliculer. L'appareil à pelliculer comprend : un rouleau principal (10) entrant en contact avec une surface d'un film ; un rouleau de revêtement (20) parallèle et adjacent au rouleau principal (10) afin d'entrer en contact avec l'autre surface du film ; un rouleau d'alimentation en solution de revêtement (30) parallèle et adjacent au rouleau de revêtement (20) et espacé dudit rouleau de revêtement (20) sur un côté opposé à celui du rouleau principal (10), le rouleau d'alimentation en solution de revêtement (30) appliquant une solution de revêtement sur une surface du rouleau de revêtement (20) après que la solution de revêtement a été étalée sur une surface dudit rouleau d'alimentation en solution de revêtement (30) alors qu'une partie inférieure de ce dernier était plongée dans un réservoir de solution de revêtement (39) ; une partie de guidage de film (40) guidant le film dans un espace entre le rouleau principal (10) et le rouleau de revêtement (20) ; une unité de durcissement (50) faisant durcir le film sur lequel la solution de revêtement est appliquée tandis qu'il passe à travers l'espace entre le rouleau principal (10) et le rouleau de revêtement (20) à une température élevée ; ainsi qu'un transporteur (60) transférant le film de manière à ce qu'il passe à travers l'unité de durcissement (40).
(KO)본 발명은 필름 코팅장치에 있어서, 필름의 타면과 접면되는 메인롤러(10)와; 상기 메인롤러(10)와 평행하게 인접하여 구비되고 필름의 일면과 접면되는 도포용 롤러(20)와; 상기 메인롤러(10)의 반대편에 상기 도포용 롤러(20)와 평행하게 인접하여 이격되어 구비되고, 코팅액 리져버(39)에 하부가 잠긴상태에서 코팅액을 표면에 묻힌 후 상기 도포용 롤러(20)의 표면에 바르는 코팅액 공급롤러(30)와; 필름을 상기 메인롤러(10)와 롤러(20) 사이의 틈으로 안내하는 필름 가이드부(40)와; 상기 메인롤러(10)와 도포용 롤러(20) 사이를 통과하면서 코팅액이 도포되는 필름을 고온으로 경화시키는 경화수단부(50)와; 필름이 경화수단부(40)를 통과하게 이송시키는 컨베이어(60);로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 필름 코팅장치에 관한 것이다.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Korean (KO)
Filing Language: Korean (KO)