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1. (WO2012046431) DEFECT CLASSIFICATION SYSTEM, DEFECT CLASSIFICATION DEVICE, AND IMAGE CAPTURE DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/046431    International Application No.:    PCT/JP2011/005565
Publication Date: 12.04.2012 International Filing Date: 03.10.2011
IPC:
G01N 23/225 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishishimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
NAKAGAKI, Ryo [JP/JP]; (JP) (For US Only).
HARADA, Minoru [JP/JP]; (JP) (For US Only).
HIRAI, Takehiro [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NAKAGAKI, Ryo; (JP).
HARADA, Minoru; (JP).
HIRAI, Takehiro; (JP)
Agent: INOUE, Manabu; c/o HITACHI, LTD. 6-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2010-228078 08.10.2010 JP
Title (EN) DEFECT CLASSIFICATION SYSTEM, DEFECT CLASSIFICATION DEVICE, AND IMAGE CAPTURE DEVICE
(FR) SYSTÈME DE CLASSIFICATION DES DÉFAUTS, DISPOSITIF DE CLASSIFICATION DES DÉFAUTS, ET DISPOSITIF DE CAPTURE D'IMAGES
(JA) 欠陥分類システム及び欠陥分類装置及び画像撮像装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a defect classification system, which employs a plurality of types of observation devices that obtain images of different qualities, with which classification performance and system operability are improved. The defect classification system comprises: a plurality of image capture means for capturing images of a subject of inspection; a defect classification device which classifies the images obtained by the image capture means; and a transmission means for carrying out a data transmission between the plurality of image capture means and the defect classification. The defect classification device further comprises: an image storage means for storing the image data acquired from the image capture means; an information storage means for storing metadata relating to the inputted image data; and a means for changing either the processing protocol or the display protocol of the image according to the metadata.
(FR)Le système de classification des défauts ci-décrit utilise une pluralité de types de dispositifs d'observation qui obtiennent des images de qualités différentes, permettant d'améliorer la performance de classification et l'exploitabilité du système. Le système de classification des défauts selon l'invention comprend : une pluralité de moyens de capture d'images pour capturer des images d'un sujet d'inspection ; un dispositif de classification des défauts qui classe les images obtenues par le moyen de capture d'images ; et un moyen de transmission pour implémenter une transmission de données entre la pluralité des moyens de capture d'images et le dispositif de classification des défauts. Le dispositif de classification des défauts comprend, en outre : un moyen de stockage d'imaqes pour stocker les données d'images acquises par les moyens de capture d'images ; un moyen de stockage d'informations pour stocker des métadonnées en relation avec les données d'images entrées ; et un moyen pour pouvoir modifier soit le protocole de traitement, soit le protocole d'affichage de l'image en fonction des métadonnées.
(JA) 性質が異なる画像を取得する複数種類の観察装置を用いた欠陥分類システムにおいて、分類性能及びシステムの操作性を向上させる。 被検査対象を撮像する複数の画像撮像手段と、上記画像撮像手段から得られた画像を分類する欠陥分類装置と、上記複数の画像撮像手段と、上記欠陥分類との間のデータ伝送を行う為の伝送手段からなる欠陥分類システムにおいて、上記欠陥分類装置に、画像撮像手段から得られた画像データを記憶する画像記憶手段と入力画像データに関する付随情報を記憶する情報記憶手段と、上記、付随情報に応じて画像の処理方式あるいは表示方式を変更する手段を備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)