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1. (WO2012045301) DEVICE AND USE OF THE DEVICE FOR MEASURING THE DENSITY AND/OR THE ELECTRON TEMPERATURE AND/OR THE COLLISION FREQUENCY OF A PLASMA
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/045301    International Application No.:    PCT/DE2011/001802
Publication Date: 12.04.2012 International Filing Date: 06.10.2011
IPC:
H05H 1/00 (2006.01), H01P 5/10 (2006.01)
Applicants: RUHR-UNIVERSITÄT BOCHUM [DE/DE]; Universitätsstr. 150 44801 Bochum (DE) (For All Designated States Except US).
BRINKMANN, Ralf, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
OBERRATH, Jens [DE/DE]; (DE) (For US Only).
AWAKOWICZ, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LAPKE, Martin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MUSCH, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MUSSENBROCK, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ROLFES, Ilona [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHULZ, Christian [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STORCH, Robert [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STYRNOLL, Tim [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ZIETZ, Christian [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BRINKMANN, Ralf, Peter; (DE).
OBERRATH, Jens; (DE).
AWAKOWICZ, Peter; (DE).
LAPKE, Martin; (DE).
MUSCH, Thomas; (DE).
MUSSENBROCK, Thomas; (DE).
ROLFES, Ilona; (DE).
SCHULZ, Christian; (DE).
STORCH, Robert; (DE).
STYRNOLL, Tim; (DE).
ZIETZ, Christian; (DE)
Agent: BOCKERMANN KSOLL GRIEPENSTROH; Bergstr. 159 44791 Bochum (DE)
Priority Data:
10 2010 047 467.3 06.10.2010 DE
10 2010 055 799.4 23.12.2010 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERWENDUNG DER VORRICHTUNG ZUR MESSUNG DER DICHTE UND/ODER DER ELEKTRONENTEMPERATUR UND/ODER DER STOSSFREQUENZ EINES PLASMAS
(EN) DEVICE AND USE OF THE DEVICE FOR MEASURING THE DENSITY AND/OR THE ELECTRON TEMPERATURE AND/OR THE COLLISION FREQUENCY OF A PLASMA
(FR) DISPOSITIF PERMETTANT DE MESURER LA DENSITÉ ET/OU LA TEMPÉRATURE ÉLECTRONIQUE ET/OU LA FRÉQUENCE DE COLLISION D'UN PLASMA ET UTILISATION DUDIT DISPOSITIF
Abstract: front page image
(DE)Vorrichtung zur Messung der Dichte eines Plasmas, umfassend Mittel zur Bestimmung einer Impulsantwort auf ein in ein Plasma eingekoppeltes Hochfrequenzsignal sowie Mittel zur Berechnung der Dichte und/oder der Elektronentemperatur und/oder der Stoßfrequenz als Funktion der Impulsantwort, eine in das Plasma einbringbare Sonde (1) mit einem Sondenkopf (2) und einem Sondenschaft (5), welcher mit einem Signalgenerator zum elektrischen Einkoppeln eines Hochfrequenzsignals in den Sondenkopf (2) verbunden ist, wobei der Sondenkopf (2) einen Mantel (7) und einen von dem Mantel (7) umgebenen Sondenkern (8) aufweist, wobei die Oberfläche des Sondenkerns (8) gegeneinander isolierte Elektrodenbereiche (3, 4; 3a, 4a) gegensätzlicher Polarität aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Sonde (1) ein Symmetrierglied (9) aufweist, welches im Übergang zwischen dem Sondenkopf (2) und einer elektrisch unsymmetrischen Hochfrequenzsignalzuführung (6) zur Umwandlung elektrisch unsymmetrischer Signale in symmetrische Signale wirksam ist.
(EN)The invention relates to a device for measuring the density of a plasma, comprising means for determining an impulse response to a high-frequency signal coupled into a plasma, means for calculating the density and/or the electron temperature and/or the collision frequency as a function of the impulse response, a probe (1) that can be introduced into the plasma and that has a probe head (2) and a probe shaft (5), which is connected to a signal generator for electrically coupling a high-frequency signal into the probe head (2), wherein the probe head (2) has a jacket (7) and a probe core (8) enclosed by the jacket (7), the surface of the probe core (8) having electrode areas (3, 4; 3a, 4a) of opposite polarity that are insulated from each other, characterized in that the probe (1) has a balun (9), which is effective in the transition between the probe head (2) and an electrically unbalanced high-frequency signal feed (6) in order to convert electrically unbalanced signals into balanced signals.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant de mesurer la densité d'un plasma, ledit dispositif comprenant des moyens de détermination d'une réponse impulsionnelle à un signal haute fréquence injecté dans un plasma ainsi que des moyens de calcul de la densité et/ou de la température électronique et/ou de la fréquence de collision en fonction de la réponse impulsionnelle. Le dispositif comprend également une sonde (1) pouvant être introduite dans le plasma et comportant une tête de sonde (2) et une tige de sonde (5) qui est connectée à un générateur de signaux pour l'injection électrique d'un signal haute fréquence dans la tête de sonde (2). La tête de sonde (2) présente une enveloppe (7) et un noyau de sonde (8) entouré par l'enveloppe (7), la surface du noyau de sonde (8) présentant des zones d'électrode (3, 4; 3a, 4a) de polarité opposée isolées l'une de l'autre. Le dispositif est caractérisé en ce que la sonde (1) présente un symétriseur (9) qui agit dans la transition entre la tête de sonde (2) et l'amenée de signaux haute fréquence électriquement asymétriques (6) pour convertir des signaux électriquement asymétriques en signaux symétriques.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)