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1. (WO2012043040) PHOTOELECTRIC CONVERSION ELEMENT, DEFECT INSPECTING APPARATUS, AND DEFECT INSPECTING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/043040    International Application No.:    PCT/JP2011/066964
Publication Date: 05.04.2012 International Filing Date: 26.07.2011
IPC:
H04N 5/372 (2011.01), G01B 11/30 (2006.01), G01N 21/88 (2006.01), H04N 5/367 (2011.01), H04N 5/378 (2011.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
KAWAGUCHI Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
JINGU Takahiro [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KAWAGUCHI Hiroshi; (JP).
JINGU Takahiro; (JP)
Agent: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
Priority Data:
2010-214634 27.09.2010 JP
Title (EN) PHOTOELECTRIC CONVERSION ELEMENT, DEFECT INSPECTING APPARATUS, AND DEFECT INSPECTING METHOD
(FR) ÉLÉMENT DE CONVERSION PHOTOÉLECTRIQUE, APPAREIL D'INSPECTION DE DÉFAUTS ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE DÉFAUTS
(JA) 光電変換素子、欠陥検査装置及び欠陥検査方法
Abstract: front page image
(EN)Provided are a photoelectric conversion element, wherein the processing speed can be increased and resolution can be changed without increasing cost, and a defect inspecting apparatus and a defect inspecting method using the photoelectric conversion element. A photoelectric conversion element (1) having a plurality of sensor images has a multiplexer (5) and a plurality of horizontal transfer registers (3a-3d). Sensor pixels are divided into a plurality of blocks (2a-2d) such that the sensor pixels correspond to each of the horizontal transfer registers (3a-3d). The photoelectric conversion element is configured such that charges of the blocks (2a-2d) are read by means of the multiplexer (5) via respective corresponding horizontal transfer registers (3a-3d), and are outputted via the multiplexer (5).
(FR)L'invention concerne un élément de conversion photoélectrique bénéficiant d'une vitesse de traitement accrue et d'une résolution variable sans incidence sur le coût, un appareil d'inspection de défauts ainsi qu'un procédé d'inspection de défauts utilisant l'élément de conversion photoélectrique. Un élément de conversion photoélectrique (1) comprenant une pluralité de d'images de capteurs possède un multiplexeur (5) et une pluralité de registres de transfert horizontaux (3a-3d). Les pixels de capteurs sont divisés en une pluralité de blocs (2a-2d) de manière à correspondre à chacun des registres de transfert horizontaux (3a-3d). L'élément de conversion photoélectrique est conçu de manière à permettre au multiplexeur (5) de lire les charges des blocs (2a-2d) par l'intermédiaire de registres de transfert horizontaux (3a-3d) correspondants respectifs, et de les fournir en sortie.
(JA) コストを増加させずに処理の高速化と解像度の変更が可能な光電変換素子と、それを用いた欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。複数のセンサ画素を有する光電変換素子1において、マルチプレクサ5と、複数の水平転送レジスタ3a~3dとを有する。センサ画素は、水平転送レジスタ3a~3dのそれぞれに対応するように、複数のブロック2a~2dに分割される。複数のブロック2a~2dの電荷が、対応するそれぞれの水平転送レジスタ3a~3dを介してマルチプレクサ5に読み出され、マルチプレクサ5を介して出力されるように構成する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)