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1. (WO2012042022) ELLIPSOMETER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/042022    International Application No.:    PCT/EP2011/067116
Publication Date: 05.04.2012 International Filing Date: 30.09.2011
IPC:
G01B 11/06 (2006.01), G01N 21/21 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Straße 22 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
TOTZECK, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only).
CORRENS, Nico [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WIDULLE, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KOOS, Christian [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: TOTZECK, Michael; (DE).
CORRENS, Nico; (DE).
WIDULLE, Frank; (DE).
KOOS, Christian; (DE)
Agent: Patentanwälte GEYER, FEHNERS & PARTNER; Perhamerstraße 31 80687 München (DE)
Priority Data:
102010041814.5 30.09.2010 DE
Title (DE) ELLIPSOMETER
(EN) ELLIPSOMETER
(FR) ELLIPSOMÈTRE
Abstract: front page image
(DE)Ellipsometer zur Untersuchung einer Probe (2, 3), mit einem Beleuchtungsstrahlengang (4), der ausgebildet ist, die Probe (2, 3) mit Beleuchtungsstrahlung (10) bestimmter Polarisation und Divergenz (w) unter einem bestimmten Winkel (a) zu beleuchten, einem Meßstrahlengang (5), der ausgebildet ist, an der Probe (2, 3) in einen Reflexwinkelbereich (u) oder Reflexortsbereich reflektierte Beleuchtungsstrahlung (1 0) als divergierendes Reflexstrahlungsbündel (11) aufzusammeln und hinsichtlich spektraler Zusammensetzung und Polarisationszustand zu analysieren, wobei der Meßstrahlengang (5) aufweist: ein Spektrometer (13), in das das Reflexstrahlungsbündel (11) eingekoppelt ist und das das Reflexstrahlungsbündel (11) spektral aufgliedert, einen im Spektrometer (13) angeordneten 2D-Detektor (15) und eine Polarisatoreinrichtung, die dem Detektor (15) vorgeordnet ist, und die das Reflexstrahlungsbündel (11) vor der spektralen Zerlegung abhängig vom Polarisationszustand räumlich filtert, wobei das Spektrometer (13) einen längs erstreckten Eintrittsspalt (17) aufweist, der Meßstrahlengang (5) eine Einrichtung zum Sammeln (12) aufweist, welche das Reflexstrahlenbündel (11) aufsammelt und zum Eintrittsspalt (17) des Spektrometer (13) leitet, und das Spektrometer (13) das Reflexstrahlungsbündel (11) quer zur Ausbreitungsrichtung des Reflexstrahlungsbündels (11) und quer zur Längserstreckung des Eintrittspaltes (17) spektral zerlegt auf den Detektor (15) lenkt, wobei die Polarisatoreinrichtung mehrere Gruppen (G1-Gn), jeweils mit mehreren unterschiedlichen Polarisatoren (18-21), umfaßt, die jeweils das Reflexstrahlungsbündel (11) hinsichtlich unterschiedlicher Polarisationszustände filtern, wobei die Gruppen (G1-Gn) wie auch die Polarisatoren (18-21) in den Gruppen (G1-Gn) nebeneinander auf dem Eintrittsspalt (17) oder im Eintrittsspalt (17) des Spektrometers (15) angeordnet sind, die Einrichtung zum Sammeln (12) das Reflexstrahlungsbündel (11) abhängig vom Reflexwinkel oder Reflexort auf die Gruppen (G1-Gn) verteilt und so auf den Eintrittsspalt (17) leitet, daß längs der Längserstreckung des Eintrittsspaltes (17) der Reflexwinkel oder Reflexorte variiert.
(EN)The invention relates to an ellipsometer for examining a sample (2, 3), comprising an illumination beam path (4), which is designed to illuminate the sample (2, 3) with illuminating radiation (10) of certain polarization and divergence (w) at a certain angle (a), a measurement beam path (5), which is designed to collect, as a diverging reflection beam (11), illuminating radiation (10) reflected at the sample (2, 3) in a reflection angle range (u) or reflection location range and to analyze said reflected illuminating radiation in regard to spectral composition and polarization state, wherein the measurement beam path (5) has: a spectrometer (13), into which the reflection beam (11) is coupled and which spectrally divides the reflection beam (11), a 2-D detector (15) arranged in the spectrometer (13), and a polarization device, which is arranged in front of the detector (15) and which spatially filters the reflection beam (11) according to the polarization state before the spectral decomposition, wherein the spectrometer (13) has a longitudinally extended inlet gap (17), the measurement beam path (5) has a collecting device (12), which collects the reflection beam (11) and guides the reflection beam to the inlet gap (17) of the spectrometer (13), and the spectrometer (13) directs the reflection beam (11), which is spectrally decomposed, at the detector (15) transversely to the propagation direction of the reflection beam (11) and transversely to the longitudinal extension of the inlet gap (17), wherein the polarization device comprises a plurality of groups (G1-Gn), which each have a plurality of different polarizers (18-21), which each filter the reflection beam (11) in regard to different polarization states, wherein the groups (G1-Gn) and the polarizers (18-21) in the groups (G1-Gn) are arranged next to each other on the inlet gap (17) or in the inlet gap (17) of the spectrometer (15), the collecting device (12) distributes the reflection beam (11) among the groups (G1-Gn) according to the reflection angle or reflection location and guides the reflection beam to the inlet gap (17) in such a way that the reflection angle or reflection location varies along the longitudinal extension of the inlet gap (17).
(FR)L'invention concerne un ellipsomètre pour analyser un échantillon (2, 3), comprenant un trajet de faisceau d'éclairage (4) qui est conçu pour éclairer sous un angle déterminé (a) l'échantillon (2, 3) avec un faisceau d'éclairage (10) de polarisation et divergence (w) déterminées, un trajet de faisceau de mesure (5) qui est conçu pour focaliser sur l'échantillon (2, 3) dans une région d'angle de réflexion (u) ou région de lieu de réflexion le faisceau d'éclairage (10) comme un faisceau de rayons réfléchis divergents (11) et l'analyser en termes de composition spectrale et état de polarisation, le trajet de faisceau de mesure (5) présentant: un spectromètre (13) dans lequel est injecté le faisceau de rayons réfléchis (11) et qui décompose spectralement le faisceau de rayons réfléchis (11), un détecteur 2D (15) disposé dans le spectromètre (13) et un dispositif polarisateur qui est placé avant le détecteur (15) et qui filtre spatialement le faisceau de rayons réfléchis (11) avant la décomposition spectrale en fonction de l'état de polarisation, le spectromètre (13) présentant une fente d'entrée (17) étirée longitudinalement, le trajet de faisceau de mesure (5) présentant un dispositif de focalisation (12) qui focalise le faisceau de rayons réfléchis (11) et le guide vers la fente d'entrée (17) du spectromètre (13), et le spectromètre (13) décomposant spectralement le faisceau de rayons réfléchis (11) transversalement à la direction de propagation du faisceau de rayons réfléchis (11) et transversalement à l'étendue longitudinale de la fente d'entrée (17) et le dirigeant sur le détecteur (15), le dispositif polarisateur comportant plusieurs groupes (G1-Gn) pourvus chacun de plusieurs polarisateurs différents (18-21) qui filtrent respectivement le faisceau de rayons réfléchis (11) en rapport avec différents états de polarisation, les groupes (G1-Gn) tout comme les polarisateurs (18-21) étant disposés dans les groupes (G1-Gn) les uns à côté des autres sur la fente d'entrée (17) ou dans la fente d'entrée (17) du spectromètre (15), le dispositif de focalisation (12) répartissant le faisceau de rayons réfléchis (11) sur les groupes (G1-Gn) en fonction de l'angle de réflexion ou du lieu de réflexion et le guidant vers la fente d'entrée (17) de telle manière que l'angle de réflexion ou le lieu de réflexion varie le long de l'étendue longitudinale de la fente d'entrée (17).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)
Licensing availability request The applicant has requested the International Bureau to indicate the availability for licensing purposes of the invention(s) claimed in this international application