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1. (WO2012020173) MICROMECHANICAL RESONATOR ARRAY AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2012/020173 International Application No.: PCT/FI2011/050711
Publication Date: 16.02.2012 International Filing Date: 11.08.2011
IPC:
H03H 3/007 (2006.01) ,H03H 9/24 (2006.01) ,H03H 9/02 (2006.01)
[IPC code unknown for H03H 3/07]
H ELECTRICITY
03
BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
H
IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9
Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
24
Constructional features of resonators of material which is not piezo-electric, electrostrictive, or magnetostrictive
H ELECTRICITY
03
BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
H
IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9
Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
02
Details
Applicants:
Teknologian tutkimuskeskus VTT [FI/FI]; Vuorimiehentie 3 FI-02150 Espoo, FI (AllExceptUS)
JAAKKOLA, Antti [FI/FI]; FI (UsOnly)
PENSALA, Tuomas [FI/FI]; FI (UsOnly)
KIIHAMÄKI, Jyrki [FI/FI]; FI (UsOnly)
Inventors:
JAAKKOLA, Antti; FI
PENSALA, Tuomas; FI
KIIHAMÄKI, Jyrki; FI
Agent:
SEPPO LAINE OY; Itämerenkatu 3 B FI-00180 Helsinki, FI
Priority Data:
2010584913.08.2010FI
Title (EN) MICROMECHANICAL RESONATOR ARRAY AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF
(FR) RÉSEAU DE RÉSONATEURS MICROMÉCANIQUES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
Abstract:
(EN) The invention relates to a microelectromechanical resonator and a method of manufacturing thereof. The resonator comprises at least two resonator elements (10A, 10B) made from semiconductor material, the resonator elements being arranged laterally with respect to each other as an array, at least one transducer element (12) coupled to said resonator elements (10A, 10B) and capable of exciting a resonance mode to the resonator elements (10A,10B). According to the invention, said at least one transducer element (12) is a piezoelectric transducer element arranged laterally with respect to the at least two resonator elements (10A, 10B) between the at least two resonator elements (10A, 10B) and adapted to excite to the resonator elements (10A, 10B) as said resonance mode a resonance mode whose resonance frequency is dependent essentially only on the C44 elastic parameter of the elastic modulus of the material of the resonator elements. By means of the invention, electrostatic actuation and problems associated therewith can be avoided and accurate resonators can be manufactured.
(FR) La présente invention concerne un résonateur micro-électromécanique et un procédé de fabrication associé. Le résonateur comprend au moins deux éléments résonateurs (10A, 10B) constitués d'un matériau semi-conducteur, les éléments résonateurs étant agencés latéralement l'un par rapport à l'autre sous forme de réseau, au moins un élément transducteur (12) couplé auxdits éléments résonateurs (10A, 10B) et capable d'exciter un mode de résonance sur les éléments résonateurs (10A, 10B). Selon l'invention, ledit ou lesdits éléments transducteurs (12) sont un ou des éléments transducteurs piézoélectriques agencés latéralement par rapport auxdits deux, ou plus, éléments résonateurs (10A, 10B) entre les deux, ou plus, éléments résonateurs (10A, 10B) et conçus pour exciter sur les éléments résonateurs (10A, 10B) en tant que dit mode de résonance un mode de résonance dont la fréquence de résonance dépend essentiellement uniquement du paramètre élastique C44 du module d'élasticité du matériau des éléments résonateurs. Grâce à l'invention, un actionnement électrostatique et les problèmes associés audit actionnement électrostatique peuvent être évités et des résonateurs précis peuvent être fabriqués.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
EP2603975