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1. (WO2012020095) MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM WITH AIR GAP
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Pub. No.: WO/2012/020095 International Application No.: PCT/EP2011/063856
Publication Date: 16.02.2012 International Filing Date: 11.08.2011
IPC:
B81B 3/00 (2006.01)
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
B
MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES
3
Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
Applicants:
UNIVERSITE DE LIMOGES [FR/FR]; Hôtel de l'Université 33, rue François Mitterrand F-87000 Limoges, FR (AllExceptUS)
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) [FR/FR]; 3, rue Michel Ange F-75016 Paris, FR (AllExceptUS)
BLONDY, Pierre [FR/FR]; FR (UsOnly)
COURREGES, Stanis [FR/FR]; FR (UsOnly)
POTHIER, Arnaud [FR/FR]; FR (UsOnly)
ORLIANGES, Jean-Christophe [FR/FR]; FR (UsOnly)
Inventors:
BLONDY, Pierre; FR
COURREGES, Stanis; FR
POTHIER, Arnaud; FR
ORLIANGES, Jean-Christophe; FR
Agent:
TEXIER, Christian; Cabinet Regimbeau 20, rue de Chazelles F-75847 Paris cedex 17, FR
Priority Data:
105654911.08.2010FR
Title (EN) MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM WITH AIR GAP
(FR) MICROSYSTEMES ELECTROMECANIQUES A GAPS D'AIR
Abstract:
(EN) The present invention relates to an microelectromechanical system (1) comprising: a base (15) comprising a substrate (20) and a substrate electrode (40); a moveable beam (30); a voltage generator (10) able to generate a potential difference between the beam (30) and the substrate electrode (40); and at least one mechanical stop (70) connected to the beam and designed to make contact with the base (15) when a potential difference is applied between the beam (30) and the substrate electrode (40), thereby defining an air-filled cavity (80) between the beam (30) and the substrate electrode (40), characterized in that it furthermore comprises an electrical-charge blocking element (50) placed on the substrate (20), said element facing the at least one mechanical stop (70) and being electrically connected to the beam (30).
(FR) La présente invention concerne un microsystème électromécanique (1) comprenant: - une base (15) comprenant un substrat (20) et une électrode de substrat (40), - une poutre mobile (30), - un générateur de tension (10), adapté pour générer une différence de potentiel entre la poutre (30) et l'électrode de substrat (40), et - au moins une butée mécanique (70) liée à la poutre et adaptée pour venir au contact de la base (15) lors de l'application d'une différence de potentiel entre la poutre (30) et l'électrode de substrat (40) en définissant une lame d'air (80) entre la poutre (30) et l'électrode de substrat (40), caractérisé en ce qu'il comprend en outre un élément de blocage de charges électriques (50) disposé sur le substrat (20), en regard de la au moins une butée mécanique (70), et relié électriquement à la poutre (30).
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)