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1. (WO2011161917) ACCELERATION SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/161917    International Application No.:    PCT/JP2011/003466
Publication Date: 29.12.2011 International Filing Date: 17.06.2011
IPC:
G01P 15/12 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), G01P 15/18 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01)
Applicants: PANASONIC CORPORATION [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP) (For All Designated States Except US).
IMANAKA, Takashi; (For US Only)
Inventors: IMANAKA, Takashi;
Agent: NAITO, Hiroki; c/o Panasonic Corporation, 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP)
Priority Data:
2010-144644 25.06.2010 JP
Title (EN) ACCELERATION SENSOR
(FR) CAPTEUR D'ACCÉLÉRATION
(JA) 加速度センサ
Abstract: front page image
(EN)The disclosed acceleration sensor comprises a frame, a mass, a beam that connects the mass to the frame, and a detection unit that detects deflection of the beam. The detection unit comprises: a first contact part and second contact part provided on top of the mass; and a strain-resistance part, one end of which is connected to the first contact part and the other end of which is connected to the second contact part. The strain-resistance part is formed in a meander pattern, from a strain-resistance thin film comprising a metal oxide, in the section of the beam that is closer to the mass than to the frame.
(FR)L'invention porte sur un capteur d'accélération, qui comprend un bâti, une masse, une poutre qui relie la masse au bâti, et une unité de détection qui détecte une flexion de la poutre. L'unité de détection comprend : une première partie de contact et une seconde partie de contact disposées sur la masse ; et une partie de résistance à la déformation, dont une extrémité est reliée à la première partie de contact et dont l'autre extrémité est reliée à la seconde partie de contact. La partie de résistance à la déformation est formée sous un motif en méandres, à partir d'un film mince de résistance à la déformation comprenant un oxyde métallique, dans la section de la poutre qui est plus proche de la masse que du bâti.
(JA) 加速度センサは、枠体と、錘部と、枠体と錘部との間を連結する梁部と、梁部の撓みを検出する検出部と、を有する。検出部は、錘部の上に設けられた第1のコンタクト部及び第2のコンタクト部と、一端が第1のコンタクト部に接続され、他端が第2のコンタクト部に接続された歪抵抗部と、を有する。歪抵抗部は金属酸化物からなる歪抵抗薄膜で形成されるとともに、梁部における枠体よりも錘部に近い部分においてメアンダ状に形成されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)