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1. (WO2011155293) WIRE CASSETTE AND SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/155293    International Application No.:    PCT/JP2011/061418
Publication Date: 15.12.2011 International Filing Date: 18.05.2011
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01)
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka 5458522 (JP) (For All Designated States Except US).
ASAKURA, Kenji; (For US Only)
Inventors: ASAKURA, Kenji;
Agent: TESHIMA Masaru; Teshima Patent Law Firm, 5F MF MinamiMorimachi Bldg., 2-3-8, Tenjinbashi, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041 (JP)
Priority Data:
2010-131683 09.06.2010 JP
Title (EN) WIRE CASSETTE AND SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS USING SAME
(FR) CASSETTE DE FIL ET APPAREIL DE TRANSFERT DE SUBSTRAT L'UTILISANT
(JA) ワイヤーカセットおよびそれを用いた基板搬送装置
Abstract: front page image
(EN)Disclosed is a wire cassette wherein an inside contact with a wire cassette main body section is simply suppressed at the time of carrying out a substrate. The wire cassette (100) which houses the substrate (10) is provided with: the cassette main body section (20) having the substrate (10) disposed therein; a bottom surface opening (27) formed in the bottom surface of the cassette main body section (20); and a loader (30), which is inserted from the bottom surface opening (27), and which carries in/out the substrate (10). The loader (30) is provided with a conveyer section (34) which carries out the substrate (10), and the conveyer section (34) is provided with an interference sensor (50) which detects interference with the inside of the cassette main body section (20).
(FR)L'invention porte sur une cassette de fil, dans laquelle un contact intérieur avec une section de corps principale de cassette de fil est supprimé de façon simple au moment de l'acheminement vers l'extérieur d'un substrat. La cassette de fil (100) qui renferme le substrat (10) comporte : la section de corps principale de cassette (20), ayant le substrat (10) disposé à l'intérieur de celle-ci ; une ouverture de surface inférieure (27) formée dans la surface inférieure de la section de corps principale de cassette (20) ; et un chargeur (30), qui est inséré à partir de l'ouverture de surface inférieure (27), et qui achemine vers l'intérieur/vers l'extérieur le substrat (10). Le chargeur (30) comporte une section de transporteur (34) qui achemine vers l'extérieur le substrat (10), et la section de transporteur (34) comporte un capteur d'interférence (50) qui détecte une interférence avec l'intérieur de la section de corps principale de cassette (20).
(JA) 基板の搬出の際にワイヤーカセット本体部の内部の接触を簡便に抑制する。基板10を収納するワイヤーカセット100は、内部に基板10が配置されるカセット本体部20と、カセット本体部20の底面に形成された底面開口部27と、底面開口部27から挿入され、基板10を出し入れするローダ30とを備える。ローダ30は、基板10を搬出するコンベア部34を備え、コンベア部34には、カセット本体部20の内部との干渉を検出する干渉センサ50が設けられている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)