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1. (WO2011152760) DEVICE FOR MONITORING A GASEOUS MEDIUM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/152760    International Application No.:    PCT/RU2011/000352
Publication Date: 08.12.2011 International Filing Date: 23.05.2011
IPC:
G01N 27/12 (2006.01), H01L 35/28 (2006.01)
Applicants: CHAPKEVICH, Alexander Lvovich [RU/RU]; (RU).
BELYANKIN, Ruslan Vladimirovich [RU/RU]; (RU) (For US Only).
CHAPKEVICH, Alexander Alexandrovich [RU/RU]; (RU) (For US Only)
Inventors: CHAPKEVICH, Alexander Lvovich; (RU).
BELYANKIN, Ruslan Vladimirovich; (RU).
CHAPKEVICH, Alexander Alexandrovich; (RU)
Agent: GRIGORYEVA, Tatiana Victorovna; В. Trekhsvyatitelsky per., 3-508 Moscow, 109028 (RU)
Priority Data:
2010122027 01.06.2010 RU
Title (EN) DEVICE FOR MONITORING A GASEOUS MEDIUM
(FR) DISPOSITIF DE SURVEILLANCE D'UN MILIEU GAZEUX
(RU) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГАЗОВОЙ СРЕДЫ
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to gas analysis instrumentation and microelectronics. The device for monitoring a gaseous medium comprises a power supply, an inlet system for the gaseous medium under analysis and a microcontroller that controls the temperature setting. A measuring chamber contains a Peltier element with a temperature sensor and a gas sensor disposed on the working surface thereof, said gas sensor having a gas-sensitive layer with contacts. The gas sensitive layer is in the form of a structure modified by argon ion implantation and situated on the surface of a high-resistivity semiconductor substrate. The gas sensor is connected to a charge-sensitive amplifier. The Peltier element has at least two stages. A gas sensor and a temperature sensor are disposed on the working surface of each stage. The charge-sensitive amplifier has multiple channels, the number of channels corresponding to the number of gas sensors. The technical result is that of reducing the time and increasing the reliability of measurements.
(FR)Le modèle d'utilité concerne des appareils d'analyse de gaz et la micro-électronique, et peuvent être utilisés dans la mise au point d'analyseurs de gaz en vue de détecter et de mesurer la concentration des gaz dans l'air. Le modèle d'utilité proposé est destiné à résoudre les problèmes de réduction du temps de mesure et d'accroissement de la fiabilité et de l'efficacité des mesures réalisées au moyen du dispositif permettant d'identifier les composants d'un mélange gazeux lors de l'analyse de la composition de mélanges gazeux à multicomposants en fonction de l'énergie d'activation des molécules ayant une interaction avec la surface d'un corps solide, ce qui permet de réaliser des mesures simultanées. Le problème technique est solutionné en ce que le dispositif, selon le modèle d'utilité, de surveillance d'un milieu gazeux comprend : une alimentation électrique; un système d'admission du milieu gazeux sous analyse; un microcontrôleur qui régule la température lors du processus de mesure; une chambre de mesure du vide contenant un élément Peltier pourvu d'un capteur de température et d'un capteur de gaz disposés sur la surface de travail de celui-ci, le capteur de gaz comprenant une couche sensible aux gaz pourvue de contacts qui se présentent sous la forme d'une structure modifiée par implantation d'ions d'argon et situés sur la surface d'un substrat à semi-conducteurs de haute résistivité, et un amplificateur sensible à la charge qui est relié au capteur de gaz. L'élément Peltier comporte au moins deux étages ainsi qu'un capteur de gaz et un capteur de température disposés sur la surface de travail de chaque étage, l'amplificateur sensible à la charge comporte plusieurs canaux, et le nombre de canaux de l'amplificateur sensible à la charge correspond au nombre de capteurs de gaz. D'autre part, le dispositif est équipé d'une unité de traitement de commande et de données comportant un convertisseur analogique-numérique et des canaux entrée-sortie distincts, et d'une unité de relais d'actionneur permettant la commutation des modes de fonctionnement du dispositif. Le dispositif proposé assure l'adsorption/désorption simultanée des atomes et des molécules de gaz sous analyse par des couches sensibles au gaz à différentes températures, ce qui permet de comparer les spectres des signaux électriques fluctuants générés au cours du processus à l'aide d'une méthodologie améliorée visant à identifier les gaz sous analyse.
(RU)Изобретение относится к газоаналитическому приборостроению и микроэлектронике. Устройство для контроля газовой среды включает блок питания, систему напуска анализируемой газовой среды, микроконтроллер, управляющий температурным режимом. Измерительная камера содержит элемент Пельтье, на рабочей поверхности которого установлен датчик температуры и газовый сенсор, имеющий газочувствительный слой с контактами. Газочувствительный слой сформирован в виде модифицированной ионной имплантацией аргона структуры на поверхности высокоомной полупрводниковой подложки. Газовый сенсор соединен с зарядочувствительнм усилителем. Элемент Пельтье выполнен, по меньшей мере, двухкаскадным. На рабочей поверхности каждого каскада установлен газовый сенсор и датчик температуры. Заярядочувствительный усилитель выполнен многоканальным, причем число каналов соответствует количеству газовых секторов. Техническим результатом является сокращение времени и повышение достоверности измерений.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Russian (RU)
Filing Language: Russian (RU)