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1. (WO2011151541) DETECTOR FOR ENERGETIC SECONDARY ELECTRONS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/151541    International Application No.:    PCT/FR2011/000324
Publication Date: 08.12.2011 International Filing Date: 01.06.2011
IPC:
H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01), H01J 47/00 (2006.01)
Applicants: ION BEAM SERVICES [FR/FR]; ZI Peynier-Rousset Rue Gaston Imbert prolongée F-13790 Peynier (FR) (For All Designated States Except US).
TORREGROSA, Frank [FR/FR]; (FR) (For US Only).
ROUX, Laurent [FR/FR]; (FR) (For US Only)
Inventors: TORREGROSA, Frank; (FR).
ROUX, Laurent; (FR)
Agent: RENAUD-GOUD, Thierry; Renaud-Goud Conseil 5, rue de Montigny F-13100 Aix-en-Provence (FR)
Priority Data:
1002354 03.06.2010 FR
Title (EN) DETECTOR FOR ENERGETIC SECONDARY ELECTRONS
(FR) DÉTECTEUR D'ÉLECTRONS SECONDAIRES ÉNERGÉTIQUES
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a detector for energetic secondary electrons, comprising a collector P bearing only three electrodes insulated from one another and polarised with reference to the collector, namely: a first repelling electrode A1 for repelling the charges to be rejected having a pre-determined sign, said negatively polarised electrode being provided with at least one opening for the passage of electrons; a second repelling electrode A2 for repelling the charges to be rejected having the opposite sign, said positively polarised electrode also being provided with at least one opening for the passage of electrons; and a selection electrode A3, said electrode also being provided with at least one opening for the passage of electrons. The openings in the electrodes are aligned on a conduction cylinder (D). In addition, the selection electrode A3 is polarised negatively. The invention also relates to a method for detecting secondary electrons using said detector.
(FR)La présente invention concerne un détecteur d'électrons secondaires énergétiques comportant un collecteur P supportant exclusivement trois électrodes isolées les unes des autres et polarisées par référence à ce collecteur : une première électrode de répulsion A1 pour repousser les charges à écarter d'un signe prédéterminé, cette électrode polarisée négativement étant munie d'au moins une ouverture pour permettre le passage des électrons; une deuxième électrode de répulsion A2 pour repousser les charges à écarter du signe opposé, cette électrode polarisée positivement étant aussi munie d'au moins une ouverture pour permettre le passage des électrons; une électrode de sélection A3, cette électrode étant également munie d'au moins une ouverture pour permettre le passage des électrons, les ouvertures de ces électrodes étant alignées sur un cylindre de conduction (D), De plus, l'électrode de sélection A3 est polarisée négativement. L'invention vise également un procédé de détection d'électrons secondaires au moyen de ce détecteur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)