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1. (WO2011151459) DETERMINING LAYER THICKNESS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/151459    International Application No.:    PCT/EP2011/059222
Publication Date: 08.12.2011 International Filing Date: 03.06.2011
IPC:
G01B 7/06 (2006.01)
Applicants: PLASTIC LOGIC LIMITED [GB/GB]; 296 Cambridge Science Park Milton Road Cambrigde CB4 OFX (GB) (For All Designated States Except US).
RIEDEL, Stephan [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: RIEDEL, Stephan; (DE)
Agent: EVANS, Marc Nigel; Page White & Farrer Bedford House John Street London Greater London WC1N 2BF (GB)
Priority Data:
1009408.4 04.06.2010 GB
Title (EN) DETERMINING LAYER THICKNESS
(FR) DÉTERMINATION D'ÉPAISSEUR DE COUCHE
Abstract: front page image
(EN)A technique comprising: producing a plurality of devices according to a common production process; and determining the thickness of a layer of one of said plurality of devices using an indicator of a first electrical property dependent on the area of overlap between a first element of the device and a second element of the device partially underlying said first element via said layer, wherein the method further comprises: additionally using an indicator of a second electrical property dependent on the area of overlap between said first element of the device and a third element of the device also partially underlying said first element via said layer, wherein (a) the difference between (i) a measured indicator of said first electrical property, and (ii) a measured indicator of said second electrical property provides a more reliable indicator of the thickness of said layer than (b) an indicator of said first electrical property.
(FR)L'invention porte sur une technique, qui comprend : la production d'une pluralité de dispositifs selon un processus de production commun ; et la détermination de l'épaisseur d'une couche de l'un de ladite pluralité de dispositifs à l'aide d'un indicateur d'une première propriété électrique dépendant de la surface de chevauchement entre un premier élément du dispositif et un deuxième élément du dispositif partiellement sous-jacent audit premier élément par l'intermédiaire de ladite couche, dans laquelle le procédé comprend de plus : l'utilisation additionnelle d'un indicateur d'une seconde propriété électrique dépendant de la surface de chevauchement entre ledit premier élément du dispositif et un troisième élément du dispositif également partiellement sous-jacent audit premier élément par l'intermédiaire de ladite couche, dans lequel procédé (a) la différence entre (i) un indicateur mesuré de ladite première propriété électrique et (ii) un indicateur mesuré de ladite seconde propriété électrique fournit un indicateur plus fiable de l'épaisseur de ladite couche que (b) un indicateur de ladite première propriété électrique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)