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Pub. No.:    WO/2011/149607    International Application No.:    PCT/US2011/033255
Publication Date: 01.12.2011 International Filing Date: 20.04.2011
H01J 37/08 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, MA 01930 (US) (For All Designated States Except US).
GODET, Ludovic [FR/US]; (US) (For US Only).
RADOVANOV, Svetlana [US/US]; (US) (For US Only).
HATEM, Christopher, R. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: GODET, Ludovic; (US).
RADOVANOV, Svetlana; (US).
HATEM, Christopher, R.; (US)
Agent: LUCEK, Nathaniel; Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 35 Dory Road Gloucester, MA 01930 (US)
Priority Data:
12/763,652 20.04.2010 US
Abstract: front page image
(EN)An apparatus that generates molecular ions and methods to generate molecular ions are disclosed. At least a first species (211) is ionized in an ion source (208). The first species ions and/or first species combine to form molecular ions (213). These molecular ions may be transported to a second chamber (201), which may be an arc chamber or diffusion chamber, and are extracted. The moilecular ions may have a larger atomic mass than the first species or first species ions. A second species also may be ionized with the first species to form molecular ions. In one instance, the first and second species are both molecules.
(FR)L'invention se rapporte à un appareil qui génère des ions moléculaires et à des procédés de génération d'ions moléculaires. Au moins une première espèce (211) est ionisée dans une source (208) d'ions. Les ions de la première espèce et/ou la première espèce se combinent pour former des ions moléculaires (213). Ces ions moléculaires peuvent être transportés jusqu'à une seconde chambre (201), qui peut être une chambre à arc ou une chambre de diffusion, et sont extraits. Les ions moléculaires peuvent avoir une masse atomique plus grande que celle de la première espèce ou celle des ions de première espèce. Une seconde espèce peut être également ionisée avec la première espèce pour former des ions moléculaires. Dans un cas, les première et seconde espèces sont toutes les deux des molécules.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)