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1. (WO2011146571) TIGHTLY-FITTED CERAMIC INSULATOR ON LARGE-AREA ELECTRODE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/146571    International Application No.:    PCT/US2011/036932
Publication Date: 24.11.2011 International Filing Date: 18.05.2011
IPC:
C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US) (For All Designated States Except US).
KUDELA, Jozef [SK/US]; (US) (For US Only).
BAEK, Jonghoon [KR/US]; (US) (For US Only).
WHITE, John M. [US/US]; (US) (For US Only).
TINER, Robin L. [US/US]; (US) (For US Only).
ANWAR, Suhail [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: KUDELA, Jozef; (US).
BAEK, Jonghoon; (US).
WHITE, John M.; (US).
TINER, Robin L.; (US).
ANWAR, Suhail; (US)
Agent: PATTERSON, B. Todd; Patterson & Sheridan, L.L.P. 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500 Houston, Texas 77056-6582 (US)
Priority Data:
61/346,907 21.05.2010 US
Title (EN) TIGHTLY-FITTED CERAMIC INSULATOR ON LARGE-AREA ELECTRODE
(FR) ISOLATEUR EN CÉRAMIQUE ÉTROITEMENT AJUSTÉ SUR UNE ÉLECTRODE DE GRANDE SURFACE
Abstract: front page image
(EN)Embodiments of the invention generally include shield frame assembly for use with a showerhead assembly, and a showerhead assembly having a shield frame assembly that includes an insulator that tightly fits around the perimeter of a showerhead in a vacuum processing chamber. In one embodiment, a showerhead assembly includes a gas distribution plate and a multi-piece frame assembly that circumscribes a perimeter edge of the gas distribution plate. The multi-piece frame assembly allows for expansion of the gas distribution plate without creating gaps which may lead to arcing. In other embodiments, the insulator is positioned to be have the electric fields concentrated at the perimeter of the gas distribution plate located therein, thereby reducing arcing potential.
(FR)Des modes de réalisation de l'invention comprennent généralement un ensemble structure de protection destiné à être utilisé avec un ensemble pomme de douche, et un ensemble pomme de douche comprenant un ensemble structure de protection qui comprend un isolateur qui s'ajuste étroitement autour du périmètre d'une pomme de douche dans une chambre de traitement sous vide. Dans un mode de réalisation, un ensemble pomme de douche comprend une plaque de distribution de gaz et un ensemble structure en plusieurs morceaux qui circonscrit un bord de périmètre de la plaque de distribution de gaz. L'ensemble structure en plusieurs morceaux permet l'expansion de la plaque de distribution de gaz sans créer d'espaces susceptibles de provoquer une formation d'arc. Dans d'autres modes de réalisation, l'isolateur est positionné de manière à ce que les champs électriques soient concentrés au niveau du périmètre de la plaque de distribution de gaz situé à l'intérieur, ce qui permet de réduire les risques de formation d'arc.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)