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1. (WO2011146108) MOVABLE CHAMBER LINER PLASMA CONFINEMENT SCREEN COMBINATION FOR PLASMA PROCESSING APPARATUSES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/146108    International Application No.:    PCT/US2011/000857
Publication Date: 24.11.2011 International Filing Date: 13.05.2011
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01)
Applicants: LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, California 94538-6470 (US) (For All Designated States Except US).
BROWN, Danny [US/US]; (US) (For US Only).
SHARPLESS, Leonard [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: BROWN, Danny; (US).
SHARPLESS, Leonard; (US)
Agent: SKIFF, Peter K.; Buchanan Ingersoll & Rooney P.C. P. O. Box 1404 Alexandria, Virginia 22313-1404 (US)
Priority Data:
12/785,232 21.05.2010 US
Title (EN) MOVABLE CHAMBER LINER PLASMA CONFINEMENT SCREEN COMBINATION FOR PLASMA PROCESSING APPARATUSES
(FR) COMBINAISON D'ÉCRAN DE CONFINEMENT DE PLASMA D'UN REVÊTEMENT DE CHAMBRE MOBILE POUR DES APPAREILS DE TRAITEMENT AU PLASMA
Abstract: front page image
(EN)A movable symmetric chamber liner in a plasma reaction chamber, for protecting the plasma reaction chamber, enhancing the plasma density and uniformity, and reducing process gas consumption, comprising a cylindrical wall, a bottom wall with a plurality of openings, a raised inner rim with an embedded heater, heater contacts, and RF ground return contacts. The chamber liner is moved by actuators between an upper position at which substrates can be transferred into and out of the chamber, and a lower position at which substrate are processed in the chamber. The actuators also provide electrical connection to the heater and RF ground return contacts.
(FR)La présente invention a trait à un revêtement de chambre symétrique mobile dans une chambre de réaction au plasma qui permet de protéger la chambre de réaction au plasma, d'améliorer la densité et l'uniformité de plasma, et de réduire la consommation de gaz de traitement. Ce revêtement de chambre comprend une paroi cylindrique, une paroi inférieure munie d'une pluralité d'ouvertures, un bord intérieur surélevé doté d'un élément chauffant incorporé, des contacts d'élément chauffant et des contacts de retour par la terre RF. Ledit revêtement de chambre est déplacé grâce à des actionneurs entre une position supérieure où des substrats peuvent être transférés à l'intérieur et à l'extérieur de la chambre, et une position inférieure où des substrats sont traités dans la chambre. Les actionneurs assurent également la connexion électrique aux contacts d'élément chauffant et aux contacts de retour par la terre RF.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)