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Pub. No.:    WO/2011/142256    International Application No.:    PCT/JP2011/060220
Publication Date: 17.11.2011 International Filing Date: 27.04.2011
H02N 2/00 (2006.01), A61B 5/00 (2006.01), B41J 2/045 (2006.01), B41J 2/055 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01)
Applicants: Konica Minolta Holdings, Inc. [JP/JP]; 1-6-1, Marunouchi, Chiyoda-Ku, Tokyo 1000005 (JP) (For All Designated States Except US).
HIGASHINO Kusunoki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MATSUDA Shinya [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HIGASHINO Kusunoki; (JP).
MATSUDA Shinya; (JP)
Agent: SANO Shizuo; Tenmabashi-Yachiyo Bldg. Bekkan, 2-6, Tenmabashi-Kyomachi, Chuo-Ku, Osaka-Shi, Osaka 5400032 (JP)
Priority Data:
2010-111866 14.05.2010 JP
(JA) 電気機械変換素子
Abstract: front page image
(EN)The pressure chamber (21) and auxiliary chamber (23) of an electromechanical conversion element (1) are formed in a substrate (11) and are communicatively connected to each other. A lower electrode (33), a driving body, and an upper electrode (35) are formed in this order on a driven membrane (13) forming the upper wall surface (21a) of the pressure chamber (21) and auxiliary chamber (23). The driving body is positioned above the pressure chamber (21), is smaller than the cross-sectional shape of the pressure chamber (21), and has: a planar-shaped action portion (31p) having a substantially identical horizontal-to-vertical ratio in a direction parallel to the surface of the substrate (11); and a lead-out portion (31a) extended from the action portion (31p) to above the auxiliary chamber (23). The auxiliary chamber (23) has a width in a second direction smaller than the width of the pressure chamber (21), the second direction being orthogonal to a first direction toward which the auxiliary chamber (23) and the pressure chamber (21) are arranged side by side and being parallel to the surface of the substrate (11). The lead-out portion (31a) of the driving body has a width in the second direction smaller than the width of the auxiliary chamber (23).
(FR)La chambre de pression (21) et la chambre auxiliaire (23) d'un élément de conversion électromécanique (1) sont formées dans un substrat (11) et communiquent l'une avec l'autre. Une électrode inférieure (33), un corps d'entraînement et une électrode supérieure (35) sont formés, dans cet ordre, sur une membrane entrainée (13) formant la surface de la paroi supérieure (21a) de la chambre de pression (21) et de la chambre auxiliaire (23). Le corps d'entraînement est positionné au-dessus de la chambre de pression (21), est plus petit que la forme de la section transversale de la chambre de pression (21) et comporte : une partie de forme plane (31p) produisant une action ayant un rapport horizontal-à-vertical sensiblement identique dans une direction parallèle à la surface du substrat (11) ; et une partie de sortie (31a) se prolongeant depuis la partie produisant une action (31p) jusqu'au-dessus de la chambre auxiliaire (23). La chambre auxiliaire (23) a une largeur, dans une seconde direction, qui est inférieure à la largeur de la chambre de pression (21), la seconde direction étant orthogonale à la première direction dans laquelle la chambre auxiliaire (23) et la chambre de pression (21) sont agencées côte à côte et étant parallèle à la surface du substrat (11). La partie de sortie (31a) du corps d'entraînement a une largeur, dans la seconde direction, qui est inférieure à la largeur de la chambre auxiliaire (23).
(JA) 電気機械変換素子(1)の圧力室(21)および副室(23)は、基板(11)に形成されており、副室(23)は圧力室(21)と連通している。圧力室(21)及び副室(23)の上部の壁面(21a)をなす従動膜(13)の上には、下部電極(33)、駆動体、上部電極(35)がこの順で形成されている。上記駆動体は、圧力室(21)の上に位置し、圧力室(21)の断面形状よりも小さく、基板(11)の面に平行な方向の縦横比が略同一の面形状の作用部(31p)と、この作用部(31p)から副室(23)の上に延長された引出部(31a)とを有している。副室(23)は、圧力室(21)と並ぶ第1の方向と直交し且つ基板(11)の面に平行な第2の方向の幅が圧力室(21)よりも小さい。また、上記駆動体の引出部(31a)は、上記第2の方向の幅が副室(23)よりも小さい。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)