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1. (WO2011142076) APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SINGLE CRYSTAL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/142076    International Application No.:    PCT/JP2011/002030
Publication Date: 17.11.2011 International Filing Date: 06.04.2011
IPC:
C30B 15/20 (2006.01)
Applicants: Shin-Etsu Handotai Co.,Ltd. [JP/JP]; 6-2, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP) (For All Designated States Except US).
KITAGAWA, Katsuyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
IWASAKI, Atsushi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OHTSUNA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KITAGAWA, Katsuyuki; (JP).
IWASAKI, Atsushi; (JP).
OHTSUNA, Hiroshi; (JP)
Agent: YOSHIMIYA, Mikio; 1st Shitaya Bldg. 8F, 6-11, Ueno 7-chome, Taito-ku, Tokyo 1100005 (JP)
Priority Data:
2010-109993 12.05.2010 JP
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SINGLE CRYSTAL
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE MONOCRISTAL
(JA) 単結晶製造装置および単結晶の製造方法
Abstract: front page image
(EN)Disclosed is an apparatus for manufacturing a single crystal, which comprises at least: a chamber for accommodating a crucible which retains a molten raw material; a lifting mechanism for lifting a single crystal; a vertically movable heater for heating the raw material; and a temperature detecting means for detecting the temperature of the heater, wherein the temperature detecting means can be vertically moved in accordance with the vertical movement of the heater. The temperature of the heater can therefore be stably detected even if work conditions are changed, and the temperature and the output of the heater can thus be stably controlled and stable work can be performed.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant de fabriquer un monocristal et qui comprend au moins : une chambre destinée à contenir un creuset dans lequel une matière première fondue est retenue; un mécanisme de tirage pour tirer un monocristal ; un élément chauffant mobile verticalement pour chauffer la matière première; et des moyens de détection de température pour détecter la température de l'élément chauffant, lesdits moyens pouvant être déplacés verticalement selon le déplacement vertical de l'élément chauffant. La température de l'élément chauffant peut par conséquent être détectée de manière stable, même si les conditions de travail changent, et la température et la puissance produite par l'élément chauffant peuvent ainsi être commandées de manière stable afin de produire un travail stable.
(JA) 本発明は、少なくとも、原料融液を保持する坩堝を収容するチャンバーと、単結晶を引き上げる引き上げ機構と、前記原料を加熱する昇降可能なヒーターと、該ヒーターの温度を検出する温度検出手段とを備えた単結晶製造装置において、前記温度検出手段は、前記ヒーターの昇降に伴って昇降することができるものであることを特徴とする単結晶製造装置である。これにより、操業条件を変更しても、安定したヒーター温度検出を行うことができ、これによってヒーター温度およびヒーター出力を安定して制御でき、安定した操業を行うことができる単結晶製造装置や単結晶の製造方法が提供される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)