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Pub. No.:    WO/2011/142021    International Application No.:    PCT/JP2010/058152
Publication Date: 17.11.2011 International Filing Date: 14.05.2010
G01B 11/24 (2006.01)
Applicants: FA Vision Corp. [JP/JP]; 7-41-17, Higashi-Ohmiya, Minuma-Ku, Saitama-City Saitama 3370051 (JP) (For All Designated States Except US).
MARUCHI, Saburo [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MARUCHI, Saburo; (JP)
Agent: SAHARA, Masashi; SIGHT PATENT 794 Suzuya 2-chome, Chuou-ku Saitama-shi Saitama 3380013 (JP)
Priority Data:
(JA) 形状測定装置および形状測定方法
Abstract: front page image
(EN)Disclosed are a shape measurement device and a shape measurement method, by which an object to be measured, having a three-dimensional shape that significantly exceeds the depth of field of a microscope can be efficiently subjected to shape measurement with high precision in a short time without moving the object to be measured, a microscope, or the like. Specifically disclosed is a shape measurement device (1) which is provided with a lighting device (30) for irradiating parallel light (R) to an object (100) to be measured, a microscope (40) having a large depth of field, which is arranged at a position facing the lighting device (30) so as to sandwich the object (100) to be measured in such a manner that the light axis of the parallel light and the light axis of the microscope itself coincide with each other, a camera (50) for capturing an image of the object (100) to be measured, which is magnified by the microscope (40) at resolution of 0.2-2 µm, and a holding device (20) for arranging the measurement part of the object (100) to be measured in the parallel light (R) in such a manner that the parallel light (R) reflects the outer peripheral shape of the measurement part of the object (100) to be measured.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de mesure de forme et un procédé de mesure de forme permettant à un objet à mesurer, ayant une forme tridimensionnelle qui dépasse significativement la profondeur de champ d'un microscope, d'être efficacement soumis à une mesure de forme avec une grande précision en un court laps de temps sans déplacer l'objet à mesurer, un microscope, ou autre dispositif semblable. L'invention concerne spécifiquement un dispositif de mesure de forme (1) comprenant : un dispositif d'éclairage (30) pour irradier de la lumière parallèle (R) vers un objet (100) à mesurer ; un microscope (40) ayant une grande profondeur de champ, agencé sur une position faisant face au dispositif d'éclairage (30) de façon à prendre en sandwich l'objet (100) à mesurer de manière à ce que l'axe lumineux de la lumière parallèle et l'axe lumineux du microscope lui-même coïncident mutuellement ; une caméra (50) pour capturer une image de l'objet (100) à mesurer, agrandie par le microscope (40) à une résolution de 0,2 à 2 µm ; et un dispositif de soutien (20) pour agencer la partie de mesure de l'objet (100) à mesurer dans la lumière parallèle (R) de telle manière que la lumière parallèle (R) réfléchisse la forme périphérique externe de la partie de mesure de l'objet (100) à mesurer.
(JA)【課題】顕微鏡の被写界深度を大幅に超えた立体形状を持つ被測定物を、被測定物や顕微鏡等を移動させることなく、短時間で効率的に、高精度な形状測定を行うことができる形状測定装置および形状測定方法を提供する。 【解決手段】本発明に係る形状測定装置1は、被測定物100に向けて平行光Rを照射する照明装置30と、被測定物100を挟んで照明装置30と対向する位置に、前記平行光の光軸と自身の光軸が一致するように配置される被写界深度の大きな顕微鏡40と、顕微鏡40により拡大された被測定物100の像を、0.2μm乃至2μmの分解能で撮像するカメラ50と、平行光Rが被測定物100の測定部分の外周形状を映し出すように平行光R内に被測定物100の測定部分を配置する保持装置20と、を備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)