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1. (WO2011138898) STAGE HEATER AND METHOD FOR PRODUCING SHAFT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/138898    International Application No.:    PCT/JP2011/059660
Publication Date: 10.11.2011 International Filing Date: 19.04.2011
IPC:
C23C 16/458 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01), H05B 3/06 (2006.01)
Applicants: NHK SPRING CO., LTD. [JP/JP]; 3-10, Fukuura, Kanazawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2360004 (JP) (For All Designated States Except US).
KAYAMOTO, Takashi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
HIRANO, Satoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KAYAMOTO, Takashi; (JP).
HIRANO, Satoshi; (JP)
Agent: SAKAI, Hiroaki; Sakai International Patent Office, Kasumigaseki Building, 2-5, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006020 (JP)
Priority Data:
2010-107709 07.05.2010 JP
Title (EN) STAGE HEATER AND METHOD FOR PRODUCING SHAFT
(FR) DISPOSITIF DE CHAUFFAGE DE PLATE-FORME ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN SUPPORT
(JA) ステージヒータ及びシャフトの製造方法
Abstract: front page image
(EN)Disclosed are: a stage heater which is capable of suppressing heat transfer from a heating substrate toward a shaft; and a method for producing a shaft. Specifically disclosed is a stage heater which comprises: a heating substrate (2) that is formed from aluminum or an alloy containing aluminum; and a shaft (5) that is bonded to one surface of the heating substrate and supports the heating substrate. The shaft (5) comprises: a pipe (6) that is formed from a metal that has a lower thermal conductivity than the material of the heating substrate; and a bonding layer (7) that is formed on a side of the pipe, at which the pipe is bonded with the heating substrate, by accelerating an aluminum powder or a powder of an alloy containing aluminum together with a gas and spraying the powder onto the pipe in a solid state so that the powder is deposited on the side of the pipe.
(FR)L'invention divulgue un dispositif de chauffage de plate-forme qui est capable de supprimer un transfert de chaleur d'un substrat de chauffage à un support; et un procédé de production d'un support. L'invention divulgue de façon spécifique un dispositif de chauffage de plate-forme, comprenant: un substrat de chauffage (2) qui est constitué d'aluminium ou d'un alliage contenant de l'aluminium; et un support (5) qui est lié à une surface du substrat de chauffage et qui supporte le substrat de chauffage. Le support (5) comprend: un tuyau (6) qui est constitué d'un métal dont la conductivité thermique est inférieure à celle de la matière qui constitue le substrat de chauffage; et une couche de liaison (7) qui est formée sur un côté du tuyau, par l'intermédiaire de laquelle le tuyau est lié au substrat de chauffage, en accélérant une poudre d'aluminium ou une poudre d'un alliage contenant de l'aluminium de concert avec un gaz, et en pulvérisant la poudre sur le tuyau dans un état solide, de telle sorte que la poudre soit déposée sur le côté du tuyau.
(JA) 加熱基板からシャフト側への熱伝導を抑制することが可能なステージヒータ及びシャフトの製造方法を提供する。ステージヒータは、アルミニウム又はアルミニウムを含む合金からなる加熱基板2と、加熱基板の一方の面に接合され、加熱基板を支持するシャフト5とを備える。シャフト5は、加熱基板の素材よりも熱伝導率の低い金属からなるパイプ6と、アルミニウムの粉体又はアルミニウムを含む合金の粉体をガスと共に加速し、固相状態のままでパイプに吹き付けて堆積させることにより、パイプの加熱基板と接合される側に形成された接合層7とを有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)