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Pub. No.:    WO/2011/138874    International Application No.:    PCT/JP2011/002560
Publication Date: 10.11.2011 International Filing Date: 06.05.2011
G01B 11/00 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (For All Designated States Except US).
NISHIKAWA, Takashi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NISHIKAWA, Takashi; (JP)
Agent: OHNISHI, Shogo; S.OHNISHI & ASSOCIATES, HIGASHI-IKEBUKURO SS BUILDING 1F, 3-20-3, Higashi-Ikebukuro, Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
Priority Data:
2010-106870 07.05.2010 JP
(JA) 高さ測定方法及び高さ測定装置
Abstract: front page image
(EN)A height measuring device (100) in which the focal position of an image formation optical system (20) is brought into relative displacement in the optical axis direction to an object (10) to be measured, and scanned, images of the object (10) to be measured, which are formed by the image formation optical system (20) are obtained in order, and the focal position for each of the pixels of the images is determined, thereby obtaining the relative height values of the object (10) to be measured at positions corresponding to the pixels, wherein a second function (g) is defined on the basis of a first function (f) which fits in a numerical value sequence consisting of the coordinate value on the optical axis and the light intensity value for each of the pixels of a plurality of the images, which are obtained for each thereof obtained by the scanning, or the coordinate value thereon and the numerical value obtained by processing the light intensity value, and positions on the optical axis at which the correlation value between the numerical value sequence and the second function (g) becomes the maximum value or the minimum value are set to the relative height values of the object to be measured at the positions corresponding to the pixels.
(FR)L'invention concerne un dispositif (100) de mesure de hauteur caractérisé en ce que la position focale d'un système optique (20) de formation d'images est mise en mouvement relatif dans la direction de l'axe optique par rapport à un objet (10) à mesurer et fait l'objet d'un balayage, en ce que des images de l'objet (10) à mesurer, formées par le système optique (20) de formation d'images, sont obtenues dans l'ordre et en ce que la position focale pour chacun des pixels des images est déterminée, obtenant ainsi des valeurs de hauteur relative de l'objet (10) à mesurer dans des positions correspondant aux pixels, une deuxième fonction (g) étant définie sur la base d'une première fonction (f) qui s'ajuste à une suite de valeurs numériques constituées de la valeur de coordonnée sur l'axe optique et de la valeur d'intensité lumineuse pour chacun des pixels d'une pluralité des images, obtenues pour chacune desdites images obtenues par le balayage, ou de la valeur de coordonnée sur ledit axe et de la valeur numérique obtenue par un traitement de la valeur d'intensité lumineuse, le dispositif étant en outre caractérisé en ce que des positions sur l'axe optique où la valeur de corrélation entre la suite de valeurs numériques et la deuxième fonction (g) atteint son maximum ou son minimum sont définies comme étant les valeurs de hauteur relative de l'objet à mesurer dans les positions correspondant aux pixels.
(JA) 測定対象物(10)に対して結像光学系(20)の焦点位置を光軸方向に相対移動させて走査し、この結像光学系(20)により形成される測定対象物(10)の画像を順次取得し、当該画像の画素毎の焦点位置を求めることにより、この画素に対応する位置にある測定対象物(10)の相対高さ値を得る高さ測定装置(100)において、走査により得られた複数の画像の画素毎に得られる、光軸上の座標値と当該画素の光強度値若しくは当該光強度値を加工した数値とからなる数値列にフィットする第1関数fに基づき第2関数gを定義し、数値列と第2関数gとの相関値が、極大値若しくは極小値となる光軸上の位置を、画素に対応する位置にある測定対象物の相対高さ値とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)