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1. (WO2011138259) EUV COLLECTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/138259    International Application No.:    PCT/EP2011/056922
Publication Date: 10.11.2011 International Filing Date: 02.05.2011
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G21K 1/06 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
MANN, Hans-Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SINGER, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: MANN, Hans-Jürgen; (DE).
SINGER, Wolfgang; (DE)
Agent: RAU, SCHNECK & HÜBNER; Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Priority Data:
10 2010 028 655.9 06.05.2010 DE
Title (EN) EUV COLLECTOR
(FR) COLLECTEUR DE RAYONNEMENT UV EXTRÊME
Abstract: front page image
(EN)A collector (15) serves to transfer an emission of an EUV radiation source (3) to a main intensity spot (23). The collector (15) has at least one collector subunit (24) comprising at least one grazing incidence mirror (251 to 254). This grazing incidence mirror (251 to 254) transfers EUV radiation (14) from the radiation source (3) to an intensity spot (23). At least one ellipsoid mirror (28) of the collector (15), the ellipsoid mirror (28) having an ellipsoidal mirror surface (29), is impinged by an angle of incidence above a critical grazing incidence angle. No more than one collector sub-unit (24) is arranged in the beam path of an EUV radiation source (3) between a position of the EUV radiation source (3) and the intensity spot (23). At least some of the EUV rays (14) are only reflected in a grazing manner. In another embodiment of the EUV collector, one of the collector subunits has at least one grazing incidence mirror shell whose outer wall serves to reflect the EUV radiation. Another one of the collector subunits has at least one grazing incidence mirror shell whose inner wall serves to reflect the EUV radiation. The result is an EUV collector in which an optimized collectable solid angle of the EUV radiation source is obtained with a given amount of constructional effort.
(FR)La présente invention concerne un collecteur (15) servant au transfert d'une émission d'une source de rayonnement UV extrême (EUV) (3) vers un point d'intensité principal (23). Le collecteur (15) comporte au moins une sous-unité de collecteur (24), comprenant au moins un miroir à incidence rasante (251 à 254). Ledit miroir à incidence rasante (251 à 254) transfère le rayonnement EUV (14) provenant de la source de rayonnement (3) vers un point d'intensité (23). Au moins un miroir ellipsoïde (28) du collecteur (15), le miroir ellipsoïde (28) présentant une surface de miroir ellipsoïdale (29), est impacté sous un angle d'incidence supérieur à un angle d'incidence rasante critique. Une sous-unité de collecteur (24) au plus est agencée sur le cheminement de faisceau d'une source de rayonnement EUV (3) entre une position de la source de rayonnement EUV (3) et le point d'intensité (23). Quelques rayons EUV (14) au moins ne sont réfléchis que de manière rasante. Dans un autre mode de réalisation du collecteur EUV, une des sous-unités de collecteur comporte au moins une coque de miroir à incidence rasante dont la paroi externe sert à réfléchir le rayonnement EUV. Une autre des sous-unités du collecteur comporte au moins une coque de miroir à incidence rasante dont la paroi interne sert à réfléchir le rayonnement EUV. On obtient ainsi un collecteur EUV permettant d'obtenir, avec une somme d'effort de construction donnée, un angle solide recouvrable optimisé de la source de rayonnement EUV.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)