WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Machine translation
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/137693    International Application No.:    PCT/CN2011/071914
Publication Date: 10.11.2011 International Filing Date: 17.03.2011
H01L 21/677 (2006.01), H01L 51/56 (2006.01), B65G 49/00 (2006.01)
Applicants: DONGGUAN ANWELL DIGITAL MACHINERY CO., LTD. [CN/CN]; Hongtu Hi-tech Development Zone, Nancheng Dongguan, Guangdong 523080 (CN) (For All Designated States Except US).
YEUNG, Mingsang [CN/CN]; (CN) (For US Only).
WANG, Yinguo [CN/CN]; (CN) (For US Only).
LIU, Huisen [CN/CN]; (CN) (For US Only).
FAN, Kaileung [CN/CN]; (CN) (For US Only).
WANG, Yong [CN/CN]; (CN) (For US Only).
WANG, Manyuan [CN/CN]; (CN) (For US Only)
Inventors: YEUNG, Mingsang; (CN).
WANG, Yinguo; (CN).
LIU, Huisen; (CN).
FAN, Kaileung; (CN).
WANG, Yong; (CN).
WANG, Manyuan; (CN)
Agent: GUANGZHOU SCIHEAD PATENT AGENT CO., LTD.; Room 1508, Huihua Commercial & Trade Building No. 80, XianLie Zhong Road, Yuexiu District Guangzhou, Guangdong 510070 (CN)
Priority Data:
201010171183.5 06.05.2010 CN
(ZH) 无尘式真空动力传送装置
Abstract: front page image
(EN)A dustless vacuum power transmission device is provided, which is applied to transmit a substrate in a vacuum chamber (300). The device includes a driver mechanism (100), a drive shaft (200), a coupling shaft (330), a magnetic driving wheel (310) and some magnetic driven wheels (320). One end of the drive shaft (200) passes through an integral wall (301) of the vacuum chamber (300) pivotally, and protrudes into the vacuum chamber (300). The magnetic driving wheel (310) is fixed on the end of the drive shaft (200) in the chamber (300). Two ends of the coupling shaft (330) are disposed pivotally on the two opposite walls of the chamber (300) respectively, and are adjacent to the driving wheel (310). The magnetic driven wheels (320) are fixed on the coupling shaft (330). At least one of the magnetic driven wheels (320) is adjacent to the magnetic driving wheel (310). The substrate is carried on the magnetic driven wheels (320). The driver mechanism (100) is fixed out of the vacuum chamber (300). A power output part (121) of the driver mechanism (100) is connected to one end of the drive shaft (200). The driver mechanism (100) drives the drive shaft (200) to rotate for driving the magnetic driving wheel (310), which drives the magnetic driven wheels (320) and the coupling shaft (330) to rotate for transmitting the substrate. The device has effects of low transmission energy consumption, high cleanliness, silence and long performance life.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de transmission de puissance à vide sans poussière qui est utilisé pour transmettre un substrat dans une chambre à vide (300). Le dispositif comprend un mécanisme d'entraînement (100), un arbre d'entraînement (200), un arbre d'accouplement (330), une roue d'entraînement magnétique (310) et des roues entraînées magnétiques (320). Une extrémité de l'arbre d'entraînement (200) passe à travers une paroi intégrale (301) de la chambre à vide (300) de façon pivotante, et fait saillie dans la chambre à vide (300). La roue d'entraînement magnétique (310) est fixée sur l'extrémité de l'arbre d'entraînement (200) dans la chambre (300). Deux extrémités de l'arbre d'accouplement (330) sont disposées de façon pivotante sur les deux parois opposées de la chambre (300) respectivement, et sont adjacentes à la roue d'entraînement (310). Les roues entraînées magnétiques (320) sont fixées sur l'arbre d'accouplement (330). Au moins une des roues entraînées magnétiques (320) est adjacente à la roue d'entraînement magnétique (310). Le substrat est transporté sur les roues entraînées magnétiques (320). Le mécanisme d'entraînement (100) est fixé hors de la chambre à vide (300). Une partie de sortie de puissance (121) du mécanisme d'entraînement (100) est reliée à une extrémité de l'arbre d'entraînement (200). Le mécanisme d'entraînement (100) entraîne la rotation de l'arbre d'entraînement (200) pour entraîner la roue d'entraînement magnétique (310), qui entraîne la rotation des roues entraînées magnétiques (320) et de l'arbre d'accouplement (330) pour transmettre le substrat. Le dispositif présente les avantages suivants : faible consommation énergétique de transmission, haute propreté, silence et vie utile prolongée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)