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1. (WO2011137472) TITANIUM DIBORIDE TARGET
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/137472    International Application No.:    PCT/AT2011/000209
Publication Date: 10.11.2011 International Filing Date: 02.05.2011
IPC:
C23C 14/34 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01), C22C 29/14 (2006.01)
Applicants: PLANSEE SE [AT/AT]; A-6600 Reutte (AT) (For All Designated States Except US).
O'SULLIVAN, Michael [IE/AT]; (AT) (For US Only)
Inventors: O'SULLIVAN, Michael; (AT)
Priority Data:
GM 288/2010 04.05.2010 AT
Title (DE) TITANDIBORID-TARGET
(EN) TITANIUM DIBORIDE TARGET
(FR) CIBLE EN DIBORURE DE TITANE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Titandiborid Target, welches Anteile von einem oder mehreren Metallen aus der Gruppe Eisen, Nickel, Kobalt und Chrom, sowie Kohlenstoff enthält. Erfindungsgemäß liegt die mittlere Korngröße der TiB2 Körner zwischen 1 μm und 20 μm, der Kohlenstoffgehalt in einem Bereich von 0,1 bis 5 Gew.% und der Gesamtgehalt von Fe, Ni, Co und/oder Cr im Bereich von 500 bis 3.000 μg/g. Der Kohlenstoff ist in freier Form an den Korngrenzen der TiB2 Körner so verteilt, dass die mittleren Abstände zwischen den einzelnen Kohlenstoffteilchen kleiner sind als 20 μm. Die Porosität beträgt weniger als 5 Vol.%.
(EN)The invention relates to a titanium diboride target which contains fractions of one or more metals from the group consisting of iron, nickel, cobalt and chromium and also carbon. According to the invention, the mean grain size of the TiB2 grains is between 1 μm and 20 μm, the carbon content is in a range of 0.1 to 5% by weight and the total content of Fe, Ni, Co and/or Cr is in the range of 500 to 3000 μg/g. The carbon is distributed in free form at the grain boundaries of the TiB2 grains such that the mean distances between the individual carbon particles are less than 20 μm. The porosity is less than 5% by volume.
(FR)L'invention concerne une cible en diborure de titane qui contient des proportions d'un ou de plusieurs métaux du groupe formé par le fer, le nickel, le cobalt et le chrome ainsi que du carbone. Selon l'invention, la grosseur moyenne des grains de TiB2 est située entre 1 μm et 20 μm, la teneur en carbone est située dans une plage de 0,1 à 5% en poids et la teneur totale en Fe, Ni, Co et/ou Cr est située dans la plage de 500 à 3000 μg/g. Le carbone est réparti, sous forme libre, aux limites des grains de TiB2 de manière telle que les distances moyennes entre les différentes particules de carbone sont inférieures à 20 µm. La porosité est inférieure à 5% en volume.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)