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1. (WO2011137071) METHODS AND APPARATUS FOR CALIBRATING FLOW CONTROLLERS IN SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/137071    International Application No.:    PCT/US2011/033780
Publication Date: 03.11.2011 International Filing Date: 25.04.2011
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US) (For All Designated States Except US).
CRUSE, James P. [US/US]; (US) (For US Only).
LANE, John W. [US/US]; (US) (For US Only).
GREGOR, Mariusch [DE/US]; (US) (For US Only).
BUCKIUS, Duc [US/US]; (US) (For US Only).
DARAN, Berrin [TR/US]; (US) (For US Only).
COBB, Corie Lynn [US/US]; (US) (For US Only).
XU, Ming [CA/US]; (US) (For US Only).
NGUYEN, Andrew [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: CRUSE, James P.; (US).
LANE, John W.; (US).
GREGOR, Mariusch; (US).
BUCKIUS, Duc; (US).
DARAN, Berrin; (US).
COBB, Corie Lynn; (US).
XU, Ming; (US).
NGUYEN, Andrew; (US)
Agent: TABOADA, Alan; Moser Ip Law Group 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, New Jersey 07702 (US)
Priority Data:
61/330,056 30.04.2010 US
12/915,345 29.10.2010 US
Title (EN) METHODS AND APPARATUS FOR CALIBRATING FLOW CONTROLLERS IN SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR ÉTALONNER DES RÉGULATEURS DE DÉBIT DANS DES SYSTÈMES DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS
Abstract: front page image
(EN)Methods and apparatus for calibrating a plurality of gas flows in a substrate processing system are provided herein. In some embodiments, a substrate processing system may include a cluster tool comprising a first process chamber and a second process chamber coupled to a central vacuum transfer chamber; a first flow controller to provide a process gas to the first process chamber; a second flow controller to provide the process gas to the second process chamber; a mass flow verifier to verify a flow rate from each of the first and second flow controllers; a first conduit to selectively couple the first flow controller to the mass flow verifier; and a second conduit to selectively couple the second flow controller to the mass flow verifier.
(FR)L'invention concerne des procédés et un appareil pour étalonner une pluralité d'écoulement gazeux dans un système de traitement de substrats. Dans certains modes de réalisation, un système de traitement de substrats peut comprendre un outil combiné comprenant une première chambre de traitement et une seconde chambre de traitement couplée à une chambre de transfert sous vide centrale; un premier régulateur de débit conçu pour fournir un gaz de traitement à la première chambre de traitement; un second régulateur de débit conçu pour fournir le gaz de traitement à la seconde chambre de traitement; un vérificateur de débit massique conçu pour vérifier un débit depuis chacun des premier et second régulateurs de débit; un premier conduit conçu pour coupler sélectivement le premier régulateur de débit au vérificateur de débit massique; et un second conduit conçu pour coupler sélectivement le second régulateur de débit au vérificateur de débit massique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)