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1. (WO2011137068) TWIN CHAMBER PROCESSING SYSTEM WITH SHARED VACUUM PUMP
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/137068    International Application No.:    PCT/US2011/033775
Publication Date: 03.11.2011 International Filing Date: 25.04.2011
IPC:
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US) (For All Designated States Except US).
XU, Ming [CA/US]; (US) (For US Only).
NGUYEN, Andrew [US/US]; (US) (For US Only).
LEE, Evans [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: XU, Ming; (US).
NGUYEN, Andrew; (US).
LEE, Evans; (US)
Agent: TABOADA, Alan; Moser Ip Law Group 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, New Jersey 07702 (US)
Priority Data:
61/330,105 30.04.2010 US
12/907,952 19.10.2010 US
Title (EN) TWIN CHAMBER PROCESSING SYSTEM WITH SHARED VACUUM PUMP
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT À DEUX CHAMBRES ÉQUIPÉ D'UNE POMPE À VIDE PARTAGÉE
Abstract: front page image
(EN)Methods and apparatus for twin chamber processing systems are disclosed, and, in some embodiments, may include a first process chamber having a first vacuum pump to maintain a first operating pressure in a first processing volume selectively isolatable by a first gate valve disposed between the first processing volume and the first vacuum pump; a second process chamber having a second vacuum pump for maintaining a second operating pressure in a second processing volume selectively isolatable by a second gate valve disposed between the second processing volume and the second vacuum pump; and a shared vacuum pump coupled to the first and second processing volumes to reduce a pressure in each processing volume below a critical pressure level, wherein the shared vacuum pump can be selectively isolated from any of the first or second process chambers or the first or second vacuum pumps.
(FR)L'invention concerne des procédés et un dispositif destinés à des systèmes de traitement à deux chambres, et, dans certaines formes de réalisation, pouvant comprendre une première chambre de traitement pourvue d'une première pompe à vide servant à maintenir une première pression de fonctionnement dans un premier volume de traitement, qui peut être isolé sélectivement par un premier robinet vanne placé entre le premier volume de traitement et la première pompe à vide; une seconde chambre de traitement comportant une seconde pompe à vide servant à maintenir une seconde pression de fonctionnement dans un second volume de traitement, qui peut être isolé sélectivement par un second robinet vanne placé entre le second volume de traitement et la seconde pompe à vide; et une pompe à vide partagée, couplée aux premier et second volumes pour réduire la pression dans chaque volume de traitement à une valeur inférieure à un niveau de pression critique, la pompe à vide partagée pouvant être isolée sélectivement de la première ou de la seconde chambre de traitement, ou de la première ou de la seconde pompe à vide.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)