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1. (WO2011136856) OPENER FOR EXTREME ULTRA VIOLET LITHOGRAPHY RETICLE PODS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/136856    International Application No.:    PCT/US2011/000777
Publication Date: 03.11.2011 International Filing Date: 02.05.2011
Chapter 2 Demand Filed:    28.02.2012    
IPC:
B65D 85/00 (2006.01)
Applicants: FORTREND ENGINEERING CORPORATION [US/US]; 687 N. Pastoria Avenue Sunnyvale, CA 94085 (US) (For All Designated States Except US).
WU, Kung, Chris [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: WU, Kung, Chris; (US)
Agent: SCHREIBER, Donald, E.; Post Office Box 2926 Kings Beach, CA 96143-2926 (US)
Priority Data:
61/343,583 30.04.2010 US
Title (EN) OPENER FOR EXTREME ULTRA VIOLET LITHOGRAPHY RETICLE PODS
(FR) DISPOSITIF D'OUVERTURE POUR NACELLES DE RÉTICULE DE LITHOGRAPHIE PAR ULTRAVIOLETS EXTRÊMES
Abstract: front page image
(EN)A two stage opener (50) for an EUV RSP (32, 34) includes an outer RSP pod opener (42, 44) having: 1. a RSP latch mechanism (42rlm) for latching a sealed outer RSP pod (32, 34) in place on the RSP pod opener (42, 44); and 2. a RSP lock/unlock mechanism (42lulm) for unlocking the RSP pod (32, 34) so the RSP pod opener (42, 44) can separate a RSP pod cover (32c, 343c) from a RSP pod door (32d, 34d). After the RSP lock/unlock mechanism (42lulm) unlocks the RSP pod (32,34), the RSP pod opener (42, 44) separates the RSP pod door (32d, 34d) from the RSP pod cover (32c, 34c) thereby exposing a metal case (20). The pod opener (50) also includes a metal case opener (52) having at least two (2) arms (56) for receiving and supporting the metal case cover (22) while the two stage pod opener (50) separates the metal case base (24) from the metal case cover (22) thereby exposing the bare reticle (26) carried om the metal case base (24).
(FR)L'invention concerne un dispositif d'ouverture à deux étages (50) pour un EUV RSP (32, 34) comprenant un dispositif d'ouverture de réticule RSP extérieur (42, 44) ayant : 1. un mécanisme de verrouillage RSP (42rlm) pour verrouiller une nacelle RSP extérieure étanche (32, 34) en place sur le dispositif d'ouverture de nacelle RSP (42, 44) ; et 2. un mécanisme de verrouillage/de déverrouillage RSP (42lulm) pour déverrouiller la nacelle RSP (32, 34) de sorte que le dispositif d'ouverture de nacelle RSP (42, 44) peut séparer un couvercle de nacelle RSP (32c, 343c) d'un volet de nacelle RSP (32d, 34d). Une fois que le mécanisme de verrouillage/de déverrouillage RSP (421ulm) a déverrouillé la nacelle RSP (32,34), le dispositif d'ouverture de nacelle RSP (42, 44) sépare le volet de nacelle RSP (32d, 34d) du couvercle de nacelle RSP (32c, 34c) pour ainsi exposer un boîtier métallique (20). Le dispositif d'ouverture de nacelle (50) comprend aussi un dispositif d'ouverture de boîtier métallique (52) ayant au moins deux (2) bras (56) pour recevoir et supporter le couvercle du boîtier métallique (22) alors que le dispositif d'ouverture à deux étages (50) sépare la base du boîtier métallique (24) du couvercle du boîtier métallique (22) pour ainsi exposer le réticule de base (26) porté sur la base du boîtier métallique (24).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)