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1. (WO2011136848) FORCE CURVE ANALYSIS METHOD FOR PLANAR OBJECT LEVELING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/136848    International Application No.:    PCT/US2011/000728
Publication Date: 03.11.2011 International Filing Date: 26.04.2011
IPC:
G03F 7/00 (2006.01), G03F 9/00 (2006.01)
Applicants: NANOINK, INC. [US/US]; 8025 Lamon Avenue Skokie, IL 60677 (US) (For All Designated States Except US).
HAAHEIM, Jason, R. [US/US]; (US) (For US Only).
BUSSAN, John, Edward [US/US]; (US) (For US Only).
SOLHEIM, Edward, R. [US/US]; (US) (For US Only).
MOSKAL, John [US/US]; (US) (For US Only).
NELSON, Michael, R. [US/US]; (US) (For US Only).
VAL-KHVALABOV, Vadim [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: HAAHEIM, Jason, R.; (US).
BUSSAN, John, Edward; (US).
SOLHEIM, Edward, R.; (US).
MOSKAL, John; (US).
NELSON, Michael, R.; (US).
VAL-KHVALABOV, Vadim; (US)
Agent: RUTT, J., Steven; Foley & Lardner LLP 3000 K Street NW Washington, DC 20007 (US)
Priority Data:
61/328,557 27.04.2010 US
Title (EN) FORCE CURVE ANALYSIS METHOD FOR PLANAR OBJECT LEVELING
(FR) PROCÉDÉ D'ANALYSE DE COURBE DE FORCE POUR MISE À NIVEAU D'OBJET PLAN
Abstract: front page image
(EN)An apparatus for leveling an array of microscopic pens relative to a substrate surface or measuring a relative tilting therebetween includes an actuator configured to drive one of the array or the substrate to vary a distance therebetween, one or more force sensors configured to measure a force between the array and the surface, and a device configured calculate a force curve parameter of the force over the distance or time. The apparatus is configured to level the array relative to the surface by varying a relative tilting between the array and the substrate surface based on the force curve parameter or to measure the relative tilting based on the force curve parameter. Methods and software also are provided.
(FR)L'invention porte sur un appareil pour mettre à niveau un groupement de casiers microscopiques par rapport à une surface de substrat ou pour mesurer une inclinaison relative entre ceux-ci, ledit appareil comprenant un actionneur configuré de façon à entraîner le groupement ou le substrat de façon à faire varier une distance entre ceux-ci, un ou plusieurs capteurs de force configurés de façon à mesurer une force entre le groupement et la surface, et un dispositif configuré de façon à calculer un paramètre de courbe de force de la force par rapport à la distance ou au temps. L'appareil est configuré de façon à mettre à niveau le groupement par rapport à la surface en faisant varier une inclinaison relative entre le groupement et la surface du substrat sur la base du paramètre de courbe de force, ou de façon à mesurer l'inclinaison relative sur la base du paramètre de courbe de force. L'invention porte également sur des procédés et sur un logiciel.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)