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1. (WO2011135231) OPTICAL DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING STRUCTURED OBJECTS
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Pub. No.: WO/2011/135231 International Application No.: PCT/FR2011/050900
Publication Date: 03.11.2011 International Filing Date: 19.04.2011
IPC:
G01B 9/02 (2006.01) ,G02B 21/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9
Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02
Interferometers
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
Applicants:
FRESQUET, Gilles [FR/FR]; FR (UsOnly)
NANOTEC SOLUTION [FR/FR]; 237 Chemin Puech du Teil F-30900 Nîmes, FR (AllExceptUS)
Inventors:
FRESQUET, Gilles; FR
Agent:
PONTET ALLANO & ASSOCIES SELARL; 25 Rue Jean Rorstand Parc Orsay Université F-91893 Orsay Cedex, FR
Priority Data:
105317326.04.2010FR
Title (EN) OPTICAL DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING STRUCTURED OBJECTS
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE ET PROCEDE D'INSPECTION D'OBJETS STRUCTURES
Abstract:
(EN) The present invention relates to a microscope device for inspecting structured objects, said microscope device including: a camera (1); an optical imaging means (2) capable of producing, on the camera, an image of the object according to a field of view, and including a distal lens (3) arranged on the side of the object (4); and a low-coherence infrared interferometer (5) including a measurement beam capable of producing measurements by means of interferences between retroreflections of said measurement beam and at least one separate optical reference. The device also includes coupling means (7) for injecting the measurement beam into the optical imaging means in such a way that the beam passes through the distal lens, and the low-coherence infrared interferometer is balanced in such a way that only the measurement beam retroreflections, taking place at optical distances close to the optical distance covered by said beam to the object, produce measurements.
(FR) La présente invention concerne un dispositif microscope d'inspection d'objets structurés comprenant une caméra ( 1 ), des moyens optiques d'imagerie ( 2 ) aptes à produire sur la caméra une image de l'objet selon un champ de vue et comprenant un objectif distal ( 3 ) disposé du côté de l'objet ( 4 ), et un interféromètre à faible cohérence infrarouge ( 5 ) comprenant un faisceau de mesure apte à produire des mesures par interférences entre des rétro - réflexion dudit faisceau de mesure et au moins une référence optique distincte. Le dispositif comprenand en outre des moyens de couplage ( 7 ) permettant d'insérer le faisceau de mesure dans les moyens optiques d'imagerie de telle sorte qu'il traverse l'objectif distal, et 1 ' interféromètre à faible cohérence infrarouge est équilibré de telle sorte que seules les rétro - réflexions du faisceau de mesure ayant lieu à des distances optiques proches de la distance optique parcourue par ledit faisceau jusqu'à l'objet produisent des mesures.
front page image
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)