(EN) The invention relates to a submillimetre-sized hot-wire sensor (1) comprising a substrate (10), two support rods (11, 12), a metal wire (13) extending between the two ends of the support rods (11, 12), and electrical contacts (14, 15) disposed on the support rods, said contacts each being linked to one of the ends of the wire (13). The metal wire comprises at least two layers of metal materials, one of said layers being made of a material exhibiting a residual stress under tension and the other layer being made of a material exhibiting a residual stress under compression. The thicknesses of these metal layers are adapted so as to compensate the residual stresses between the various layers.
(FR) L'invention concerne un capteur (1 ) à fil chaud de taille submillimétrique qui comprend un substrat (10), deux tiges support (11, 12), un fil métallique (13) s 1 étendant entre les deux extrémités des tiges support (11, 12) et des contacts électriques (14, 15) disposés sur les tiges supports, lesdits contacts étant chacun reliés à l'une des extrémités du fil (13). Le fil métallique comprend au moins deux couches de matériaux métalliques, dont l'une est réalisée en un matériau présentant une contrainte résiduelle en tension et dont l'autre est réalisée en un matériau présentant une contrainte résiduelle en compression. Les épaisseurs de ces couches de métal étant adaptées pour compenser les contraintes résiduelles entre les différents couches.