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1. WO2011124074 - CYLINDRICAL PLASMA RESONANT CAVITY

Publication Number WO/2011/124074
Publication Date 13.10.2011
International Application No. PCT/CN2010/079322
International Filing Date 01.12.2010
IPC
H01P 7/06 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
7Resonators of the waveguide type
06Cavity resonators
CPC
H01J 37/32247
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32192Microwave generated discharge
32211Means for coupling power to the plasma
32247Resonators
H05H 7/18
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
7Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
14Vacuum chambers
18Cavities; Resonators
Applicants
  • 长飞光纤光缆有限公司 YANGTZE OPTICAL FIBRE AND CABLE COMPANY, LTD. [CN]/[CN] (AllExceptUS)
  • 李震宇 LI, Zhenyu [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 卢松涛 LU, Songtao [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 刘善沛 LIU, Shanpei [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 龙胜亚 LONG, Shengya [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 雷高清 LEI, Gaoqing [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 刘泳涛 LIU, Yongtao [CN]/[CN] (UsOnly)
Inventors
  • 李震宇 LI, Zhenyu
  • 卢松涛 LU, Songtao
  • 刘善沛 LIU, Shanpei
  • 龙胜亚 LONG, Shengya
  • 雷高清 LEI, Gaoqing
  • 刘泳涛 LIU, Yongtao
Agents
  • 武汉开元知识产权代理有限公司 WUHAN KAIYUAN INTELLECTUAL PROPERTY AGENT LTD.
Priority Data
201010147798.409.04.2010CN
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) CYLINDRICAL PLASMA RESONANT CAVITY
(FR) CAVITÉ RÉSONNANTE CYLINDRIQUE À PLASMA
(ZH) 一种圆柱型等离子体谐振腔
Abstract
(EN) The present invention relates to a cylindrical plasma resonant cavity for the PCVD (Plasma Chemical Vapor Deposition) optical fiber preform processing machine. The cylindrical plasma resonant cavity includes a cylindrical resonant cavity case. Cutoff waveguides are set at the both sides of the cylindrical resonant cavity case, and a waveguide inlet is opened in the circumferential direction of the cylindrical resonant cavity case. The cylindrical plasma resonant cavity is characterized in that: the cutoff waveguides at the both sides of the cylindrical resonant cavity case are movable end cover structure, middle vias are opened in said movable end cover structural cutoff waveguides, and bumped truncated cones configured with the cylindrical resonant cavity are set at the inside end surfaces. The present invention enables the matching between the resonant cavity and the glass tubes with different diameters through the disassembly and change of the cutoff waveguides, and enables a better matching between the waveguide devices and the resonant cavity load. The coupling effect is improved to adapt the variation of the load in the machining process, and the energy loss is decreased, thus the adaptation range of the machining of the cylindrical plasma resonant cavity is improved. With the simple structure, easy machining and manufacturing, uniform deposition, good deposition attachment effect, the present invention improves the machining precision and efficiency of the PCVD process.
(FR) La présente invention a trait à une cavité résonnante cylindrique à plasma destinée à une machine de traitement de préforme de fibre optique PECVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma). La cavité résonnante cylindrique à plasma inclut un boîtier de cavité résonnante cylindrique. Des guides d'ondes évanescents sont définis des deux côtés du boîtier de cavité résonnante cylindrique et un orifice d'entrée de guide d'ondes est ouvert dans la direction circonférentielle du boîtier de cavité résonnante cylindrique. La cavité résonnante cylindrique à plasma est caractérisée en ce que : les guides d'ondes évanescents des deux côtés du boîtier de cavité résonnante cylindrique constituent une structure de couvercle d'extrémité mobile, des trous d'interconnexion centraux sont ouverts dans lesdits guides d'ondes évanescents structuraux de couvercle d'extrémité mobile, et des cônes tronqués bosselés configurés avec la cavité résonnante cylindrique sont définis sur les surfaces d'extrémité intérieures. La présente invention permet d'obtenir une mise en correspondance entre la cavité résonnante et les tubes de verre dotés de différents diamètres au moyen du démontage et du changement des guides d'ondes évanescents, et permet d'obtenir une meilleure mise en correspondance entre les dispositifs de guide d'ondes et la charge de la cavité résonnante. L'effet de couplage est amélioré de manière à adapter la variation de la charge dans le processus d'usinage et la perte d'énergie est réduite, de sorte que la plage d'adaptation de l'usinage de la cavité résonnante cylindrique à plasma est améliorée. Grâce à une structure simple, à un usinage et à une fabrication aisés, à un dépôt uniforme et à un bon effet d'attachement de dépôt, la présente invention permet d'améliorer la précision d'usinage et l'efficacité du processus PECVD.
(ZH) 本发明涉及一种用PCVD光纤预制棒加工机床的圆柱型等离子体谐振腔,包括有圆柱型谐振腔壳体,在圆柱型谐振腔壳体两端设置截止波导,在圆柱型谐振腔壳体周向开设有一波导入口,其特征在于:在圆柱型谐振腔壳体两端的截止波导为活动端盖结构,所述的活动端盖结构截止波导开设有中间通孔,内端面设置凸起的圆台,与圆柱型谐振腔相配置。本发明通过拆换截止波导可使谐振腔与不同直径的玻璃管相匹配,使波导装置更好地与谐振腔负载匹配,提高耦合效果,以适应加工过程中负载的变化,减少能量损耗,从而提高了圆柱型等离子体谐振腔的加工适应范围;本发明结构简单,易于加工制造;沉积均匀;沉积附着效果好,提高了PCVD工艺的加工精度和效率。
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