(EN) Disclosed is a charged particle beam device which includes: an ionic liquid holding member (302) having an opening (303); an ionic liquid supplying section (109) for filling the opening with an ionic liquid (301; 351); an observation section for observing the adhesion state of the ionic liquid; and charged particle beam generating sections (101, 104) for radiating charged particle beams (103, 104). The charged particle beam device is capable of adjusting the thickness of the film formed of ionic liquid with which the opening is filled, at the time of observing samples (201) in a state wherein the samples are floating in the ionic liquid by being dispersed in the ionic liquid or on the surface of the ionic liquid. Thus, the charged particle beam device is provided with the mechanism of adjusting the shape and the thickness of the film formed of the ionic liquid adhered on the sample such that the shape and the thickness are suitable for various types of observations using electronic microscope and the like, and also for processing using ion beams.
(FR) L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées qui comprend un élément destiné à contenir du liquide ionique (302) ayant une ouverture (303) ; une section d'introduction de liquide ionique (109) destinée à introduire un liquide ionique (301 ; 351) à travers l'ouverture ; une section d'observation destinée à observer l'état d'adhérence du liquide ionique ; et des sections génératrices de faisceaux de particules chargées (101, 104) destinées à rayonner des faisceaux de particules chargées (103, 104). Le dispositif à faisceaux de particules chargées est capable d'ajuster l'épaisseur du film formé d'un liquide ionique qui est introduit par l'intermédiaire de l'ouverture, au moment de l'observation d'échantillons (201), dans un état dans lequel les échantillons flottent dans le liquide ionique en étant dispersés dans le liquide ionique ou à la surface du liquide ionique. Le dispositif à faisceau de particules chargées est ainsi doté d'un mécanisme permettant d'ajuster la forme et l'épaisseur du film formé du liquide ionique et adhérant à l'échantillon de telle façon que la forme et l'épaisseur conviennent pour divers types d'observation au moyen d'un microscope électronique ou autre, ainsi que pour un traitement utilisant des faisceaux d'ions.
(JA) 本発明の荷電粒子線装置は、開口部（３０３）を有するイオン液体保持部材（３０２）と、前記開口部にイオン液体（３０１；３５１）を充填するためのイオン液体供給部（１０９）と、前記イオン液体の付着状態を観察するための観察部と、荷電粒子線（１０３，１０４）を照射するための荷電粒子線発生部（１０１，１０４）とを含み、試料（２０１）を前記イオン液体の内部又は前記イオン液体の表面に分散させることにより、前記試料を前記イオン液体に浮かせた状態で観察する際に、前記開口部に充填する前記イオン液体の厚さを調整可能としたことを特徴とする。 これにより、電子顕微鏡等による各種観察やイオンビームによる加工に適するように、試料に付着させるイオン液体の形状及び膜厚を調整する機構を備えた荷電粒子線装置を提供できるようになった。