(EN) A chemical-mechanical polishing liquid is provided. The polishing liquid contains water, an abrasive, an oxidant and a water-soluble cationic surfactant. The present polishing liquid can reduce and eliminate the noises from polishing, improve the operating environment, decrease the friction of a polishing pad, and prolong the service life of the polishing pad.
(FR) L'invention concerne un liquide de polissage mécano-chimique. Le liquide de polissage contient de l'eau, un abrasif, un oxydant et un tensioactif cationique soluble dans l'eau. Le présent liquide de polissage peut réduire et éliminer les bruits du polissage, améliorer l'environnement de travail, réduire la friction d'un tampon de polissage et prolonger la durée de vie du tampon de polissage.