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1. WO2011064048 - DEVICE AND METHOD FOR MEASURING AND COMPENSATING MOVEMENT INFLUENCES IN PHASE-SHIFT PROFILOMETERS AND THE APPLICATION THEREOF IN MOBILE, MANUALLY CONTROLLED PROFILOMETRY

Publication Number WO/2011/064048
Publication Date 03.06.2011
International Application No. PCT/EP2010/065601
International Filing Date 18.10.2010
IPC
G01B 11/25 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. moiré fringes, on the object
CPC
G01B 11/2527
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
2518Projection by scanning of the object
2527with phase change by in-plane movement of the patern
Applicants
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • KOCAMAN, Dehan [TR]/[DE] (UsOnly)
  • WISSMANN, Patrick [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventors
  • KOCAMAN, Dehan
  • WISSMANN, Patrick
Common Representative
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
Priority Data
10 2009 056 177.327.11.2009DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR MESSUNG UND KOMPENSATION VON BEWEGUNGSEINFLÜSSEN BEI PHASENSCHIEBE-PROFILOMETERN UND DESSEN ANWENDUNG AUF MOBILE, FREIHANDGEFÜHRTE PROFILOMETRIE
(EN) DEVICE AND METHOD FOR MEASURING AND COMPENSATING MOVEMENT INFLUENCES IN PHASE-SHIFT PROFILOMETERS AND THE APPLICATION THEREOF IN MOBILE, MANUALLY CONTROLLED PROFILOMETRY
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR MESURER ET COMPENSER DES INFLUENCES DE MOUVEMENT DANS DES PROFILOMÈTRES DE DÉPHASAGE ET LEUR APPLICATION À LA PROFILOMÉTRIE MOBILE PORTABLE
Abstract
(DE)
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur zwei- oder dreidimensionalen Vermessung mit makroskopischer, mikroskopischer oder submikroskopischer Oberflächentopographien mittels Profilometrie. Es sollen bei Phasenschiebe-Profilometern Messfehler, die durch eine relative Bewegung zwischen Objekt (3) und Messgerät während eines Messzyklus entstehen, kompensiert werden. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass ein Projektor (1) eine ein integriertes Modulationsbild aufweisende Phasenschiebe-Mustersequenz auf ein Objekt (3) projiziert. Mittels einer Datenverarbeitungseinrichtung (7) können aufgrund einer Relativbewegung des Objekts (3) zum Messgerät erzeugte Messfehler mittels einer der Relativbewegungen entgegengesetzten nachträglichen Verschiebung von mittels der Bilddaten erzeugten Bildern kompensiert werden.
(EN)
The invention relates to a device and method for two or three-dimensional measurement with macroscopic, microscopic or sub-microscopic surface topographies by means of profilometry. According to the invention, phase-shift profilometer measurement errors which occur due to a relative movement between an object (3) and the measurement device during a measurement cycle are compensated. The invention is characterized in that a projector (1) projects a phase-shift master sequence having an integrated modulation image on an object (3). By means of a data processing unit (7), according to the invention measurement errors generated due to a relative movement of the object (3) to the measurement device can be compensated by means of a subsequent shift of images, generated by means of the image data, in opposition to the relative movements.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif et un procédé pour la mesure bi- ou tridimensionnelle avec des topographies de surface macroscopiques, microscopiques ou submicroscopiques en utilisant la profilométrie. Les erreurs de mesure qui se produisent lors d'un déplacement relatif entre un objet (3) et un appareil de mesure pendant un cycle de mesure doivent être compensées avec des profilomètres de déphasage. L'invention est caractérisée en ce qu'un projecteur (1) projette une séquence de motifs de déphasage présentant une image de modulation intégrée sur un objet (3). Au moyen d'un dispositif de traitement des données (7), les erreurs de mesure produites du fait d'un mouvement relatif de l'objet (3) par rapport à l'appareil de mesure peuvent être compensées au moyen d'un déplacement ultérieur opposé aux mouvements relatifs d'images produites par les données d'images.
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau