WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2011022573) IMAGE COLLECTION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2011/022573 International Application No.: PCT/US2010/046055
Publication Date: 24.02.2011 International Filing Date: 20.08.2010
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: KIRK, Gregory L.[US/US]; US (UsOnly)
DERSTINE, Matthew W.[US/US]; US (UsOnly)
HWANG, Shiow-Hwei[US/US]; US (UsOnly)
LEWIS, Isabella T.[US/US]; US (UsOnly)
KLA-TENCOR CORPORATION[US/US]; KLA-Tencor Corporation Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US (AllExceptUS)
Inventors: KIRK, Gregory L.; US
DERSTINE, Matthew W.; US
HWANG, Shiow-Hwei; US
LEWIS, Isabella T.; US
Agent: MCANDREWS, Kevin; Kla-tencor Corp. Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Priority Data:
12/545,04220.08.2009US
Title (EN) IMAGE COLLECTION
(FR) COLLECTE D'IMAGES
Abstract: front page image
(EN) An inspection system for creating images of a substrate. A light source directs an incident light onto the substrate, and a light source timing control controls a pulse timing of the incident light. A stage holds the substrate and moves the substrate under the incident light, so that the substrate reflects the incident light as a reflected light. A stage position sensor reports a position of the stage, and a stage position control controls the position of the stage. A time domain integration sensor receives the reflected light, and a time domain integration sensor timing control controls a line shift of the time domain integration sensor. A control system is in communication with the light source timing control, the stage position control, and the time delay integration sensor timing control, and sets the pulse timing of the incident light, the position of the stage, and the line shift of the time delay integration sensor, such that a single line of the time domain integration sensor integrates reflected light from more than one pulse of the incident light from the light source.
(FR) L'invention porte sur un système d'inspection pour créer des images sur un substrat. Une source lumineuse directe dirige une lumière incidente sur le substrat et une commande de temporisation de source lumineuse commande une temporisation d'impulsion de la lumière incidente. Une platine maintient le substrat et déplace le substrat sous la lumière incidente, de sorte que le substrat réfléchit la lumière incidente en tant que lumière réfléchie. Un capteur de position de platine rapporte une position de la platine et une commande de position de la platine commande la position de la platine. Un capteur d'intégration de domaine temporel reçoit la lumière réfléchie et une commande de temporisation de capteur d'intégration de domaine temporel commande un décalage linéaire du capteur d'intégration de domaine temporel. Un système de commande est en communication avec la commande de temporisation de source lumineuse, la commande de position de platine et la commande de temporisation de capteur d'intégration de retard temporel, et établit la temporisation d'impulsion de la lumière incidente, la position de la platine et le décalage linéaire du capteur d'intégration de retard temporel, de telle sorte qu'une unique ligne du capteur d'intégration de domaine temporel intègre une lumière réfléchie à partir de plus d'une impulsion de la lumière incidente à partir de la source lumineuse.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)