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1. (WO2011018637) VACUUM SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/018637    International Application No.:    PCT/GB2010/050533
Publication Date: 17.02.2011 International Filing Date: 30.03.2010
IPC:
H01J 49/24 (2006.01)
Applicants: EDWARDS LIMITED [GB/GB]; Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW (GB) (For All Designated States Except US).
STONES, Ian, David [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: STONES, Ian, David; (GB)
Agent: CLARK, Charles Robert; Edwards Limited Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW (GB)
Priority Data:
0914221.7 14.08.2009 GB
Title (EN) VACUUM SYSTEM
(FR) INSTALLATION DE VIDE
Abstract: front page image
(EN)The invention provides a vacuum system (12) comprising a plurality of vacuum chambers (14, 16, 18, 20) connected in series and a vacuum pumping arrangement (10) for differential pumping the chambers. The vacuum pumping arrangement comprises a primary pump (22) having an inlet (23) connected for pumping a first vacuum chamber (14) and an outlet (25) for exhausting at or around atmosphere, a booster pump (24) having an inlet (27) connected for pumping a second vacuum chamber (16) and an outlet (29) connected to the inlet (23) of the primary pump; and a secondary pump (26, 28) having an inlet (31, 33) connected for pumping a third vacuum chamber (18, 20) and an outlet (35, 37) connected to the inlet (27) of the booster pump.
(FR)L'invention porte sur une installation de vide (12) comprenant une pluralité de chambres à vide (14, 16, 18, 20) reliées en série et un agencement de pompage à vide (10) destiné à réaliser un pompage différentiel des chambres. L'agencement de pompage à vide comprend une pompe primaire (22) comportant un orifice d'entrée (23) branché de façon à pomper une première chambre à vide (14) et un orifice de sortie (25) pour évacuation vers l'atmosphère ou au voisinage de celle-ci, une pompe d'appoint (24) comportant un orifice d'entrée (27) branché de façon à pomper une deuxième chambre à vide (16) et un orifice de sortie (29) relié à l'orifice d'entrée (23) de la pompe primaire, et une pompe secondaire (26, 28) comportant un orifice d'entrée (31, 33) branché de façon à pomper une troisième chambre à vide (18, 20) et un orifice de sortie (35, 37) relié à l'orifice d'entrée (27) de la pompe d'appoint.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)