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1. (WO2011018481) THREE-DIMENSIONAL MAPPING OF A SAMPLE STRUCTURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/018481    International Application No.:    PCT/EP2010/061702
Publication Date: 17.02.2011 International Filing Date: 11.08.2010
IPC:
G01N 21/41 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Straße 22 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
GLASENAPP, Carsten [DE/DE]; (DE) (For US Only).
PÖLTINGER, Werner [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: GLASENAPP, Carsten; (DE).
PÖLTINGER, Werner; (DE)
Agent: GEYER, FEHNERS & PARTNER; Perhamerstraße 31 80687 München (DE)
Priority Data:
102009037397.7 13.08.2009 DE
Title (DE) DREIDIMENSIONALE ABBILDUNG EINER PROBENSTRUKTUR
(EN) THREE-DIMENSIONAL MAPPING OF A SAMPLE STRUCTURE
(FR) REPRÉSENTATION EN TROIS DIMENSIONS D'UNE STRUCTURE D'ÉCHANTILLON
Abstract: front page image
(DE)Es wird beschrieben ein Verfahren zur Bestimmung einer inneren Struktur einer Probe, wobei mit einem ersten optischen Verfahren ein erstes Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das mit einer ersten Ortsauflösung die Lage von Streuzentren in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem ersten optischen Verfahren einer Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt, mit einem zweiten optischen Verfahren ein zweites Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das die Lage von Streuzentren in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem zweiten optischen Verfahren keiner oder einer geringeren Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt und wobei das zweite Bild eine zweite Ortsauflösung hat, die geringer ist, als die erste Ortsauflösung, im ersten Bild erste Vergleichsstrukturen und im zweiten Bild zweite Vergleichsstrukturen ermittelt werden, wobei die ersten und zweiten Vergleichsstrukturen sich entsprechen und von jeweils gleichen Probenstrukturen stammen, für die Probe eine auf das erste Bild bezogene Brechzahlverteilung so definiert wird, daß die Brechzahlverteilung eine Korrektur des ersten Bildes derart bewirkt, daß die ersten Vergleichsstrukturen im korrigierten ersten Bild im wesentlichen an denselben Probenorten liegen wie die zugeordneten zweiten Vergleichsstrukturen im zweiten Bild.
(EN)The invention relates to a method for determining an inner structure of a sample, wherein a first optical method is used to obtain a first image of the inner structure of the sample that reproduces the locations of scattering centers in the sample with a first spatial resolution, wherein the mapping using the first optical method is subject to a distortion by refractive index variations in the sample, a second optical method is used to obtain a second image of the inner structure of the sample reflecting the locations of scattering centers in the sample, wherein the mapping using the second optical method is not subject to any distortion or to lower distortion by refractive index variations in the sample, and wherein the second image has a second spatial resolution that is lower than the first spatial resolution, first comparison structures are determined in the first image and second comparison structures are determined in the second image, wherein the first and second comparison structures correspond to each other and originate from the same sample structures, and a refractive index distribution that relates to the first image is defined for the sample such that the refractive index distribution causes a correction of the first image such that the first comparison structures in the corrected first image are located at substantially the same points in the sample as the associated second comparison structures in the second image.
(FR)L'invention concerne un procédé pour déterminer une structure interne d'un échantillon, une première image de la structure interne de l'échantillon étant obtenue avec un premier procédé optique, laquelle restitue avec une première résolution spatiale l'emplacement de centres de diffusion dans l'échantillon, la représentation avec le premier procédé optique étant soumise à une distorsion par des variations de l'indice de réfraction dans l'échantillon, une seconde image de la structure interne de l'échantillon étant obtenue avec un second procédé optique, laquelle restitue la position de centres de diffusion dans l'échantillon, la représentation avec le second procédé optique n'étant soumise à aucune distorsion ou à une distorsion assez faible par des variations de l'indice de réfraction dans l'échantillon et la seconde image ayant une seconde résolution spatiale qui est plus faible que la première résolution spatiale, des premières structures de comparaison dans la première image et des secondes structures de comparaison dans la seconde image étant déterminées, les premières et les secondes structures de comparaison se correspondant et provenant de structures d'échantillon respectivement identiques, une répartition d'indice de réfraction rapportée à la première image étant définie pour l'échantillon de telle sorte que la répartition de l'indice de réfraction entraîne une correction de la première image de telle façon que les premières structures de comparaison dans la première image corrigée sont situées pratiquement aux mêmes emplacements d'échantillon que les secondes structures de comparaison associées dans la seconde image.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)