WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2011018226) DEVICE AND TREATMENT CHAMBER FOR THERMALLY TREATING SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/018226    International Application No.:    PCT/EP2010/004947
Publication Date: 17.02.2011 International Filing Date: 12.08.2010
Chapter 2 Demand Filed:    14.06.2011    
IPC:
F27B 9/30 (2006.01), C03B 27/044 (2006.01), C03B 29/08 (2006.01)
Applicants: LEYBOLD OPTICS GMBH [DE/DE]; Siemensstrasse 88 63755 Alzenau (DE) (For All Designated States Except US).
NOVAK, Emmerich [DE/DE]; (DE) (For US Only).
TRUBE, Jutta [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: NOVAK, Emmerich; (DE).
TRUBE, Jutta; (DE)
Agent: POHLMANN, Bernd, Michael; Reinhardt & Pohlmann Partnerschaft Rossmarkt 12 60311 Frankfurt am Main (DE)
Priority Data:
10 2009 037 299.7 14.08.2009 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND BEHANDLUNGSKAMMER ZUR THERMISCHEN BEHANDLUNG VON SUBSTRATEN
(EN) DEVICE AND TREATMENT CHAMBER FOR THERMALLY TREATING SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF ET CHAMBRE DE TRAITEMENT POUR LE TRAITEMENT THERMIQUE DE SUBSTRATS
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Behandlungskammer (20, 21, 21') zur thermischen Bearbeitung eines flächigen Substrats (10). Die Bearbeitungskammer (20, 21, 21') umfasst eine Transporteinrichtung (25, 25') zur Beförderung und Lagerung des Substrats (10) während der thermischen Bearbeitung und eine Gasführungseinrichtung (30, 30') zum konvektiven Erwärmen oder Kühlen des Substrats (10). Die Gasführungseinrichtung (30, 30') weist Auslassöffnungen (32, 32') auf, durch die das temperierte Gas auf das Substrat (10) geleitet wird. Weiterhin ist in der Behandlungskammer (20, 21, 21') eine Abführeinrichtung (33, 33') vorgesehen, durch die die über die Gasführungseinrichtung (30, 30') in die Behandlungskammer (20, 21, 21') eingeleiteten Gases gezielt abgeführt werden können. Die Behandlungskammer kann als Wärmebehandlungskammer (21) oder als Kühlkammer (21') ausgestaltet sein.
(EN)The invention relates to a treatment chamber (20, 21, 21') for thermally processing a planar substrate (10). The treatment chamber (20, 21, 21') comprises a transport unit (25, 25') for conveying and supporting the substrate (10) during thermal processing, and a gas flow unit (30, 30') for convection-heating or convection-cooling the substrate (10). The gas flow unit (30, 30') comprises outlet openings (32, 32'), through which gas of the correct temperature is conducted onto the substrate (10). Furthermore, in the treatment chamber (20, 21, 21') a discharge unit (33, 33') is provided, through which the gases introduced into the treatment chamber (20, 21, 21') via the gas flow unit (30, 30') can be discharged in a controlled manner. The treatment chamber can be designed in the form of a heat-treatment chamber (21) or a cooling chamber (21').
(FR)L'invention concerne une chambre de traitement (20, 21, 21') pour le traitement thermique d'un substrat plat (10). La chambre de traitement (20, 21, 21') comprend un dispositif de transport (25, 25') pour transporter et poser le substrat (10) pendant le traitement thermique et un dispositif de conduite de gaz (30, 30') pour le chauffage par convection ou le refroidissement du substrat (10). Le dispositif de conduite de gaz (30, 30') présente des ouvertures de sortie (32, 32') par lesquelles le gaz mis à température est guidé sur le substrat (10). En outre, un dispositif d'évacuation (33, 33') par lequel les gaz introduits dans la chambre de traitement (20, 21, 21') par l'intermédiaire du dispositif de conduite de gaz (30, 30') peuvent être évacués de manière ciblée, est prévu dans la chambre de traitement (20, 21, 21'). La chambre de traitement peut être conçue comme chambre de traitement thermique (21) ou chambre de refroidissement (21').
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)