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1. (WO2011017509) INTEGRATED THIN FILM METROLOGY SYSTEM USED IN A SOLAR CELL PRODUCTION LINE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2011/017509 International Application No.: PCT/US2010/044532
Publication Date: 10.02.2011 International Filing Date: 05.08.2010
IPC:
H01L 31/18 (2006.01) ,H01L 31/042 (2006.01)
Applicants: HOLDEN, James Matthew[US/US]; US (UsOnly)
BUDIARTO, Edward W.[US/US]; US (UsOnly)
LINGEL, Karen[US/US]; US (UsOnly)
APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US (AllExceptUS)
Inventors: HOLDEN, James Matthew; US
BUDIARTO, Edward W.; US
LINGEL, Karen; US
Agent: PATTERSON, B. Todd; Patterson & Sheridan, L.L.P. 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500 Houston, Texas 77056-6582, US
Priority Data:
61/232,33607.08.2009US
Title (EN) INTEGRATED THIN FILM METROLOGY SYSTEM USED IN A SOLAR CELL PRODUCTION LINE
(FR) SYSTÈME MÉTROLOGIQUE À MINCE FILM INTÉGRÉ UTILISÉ DANS UNE CHAÎNE DE PRODUCTION DE CELLULES SOLAIRES
Abstract: front page image
(EN) Embodiments of the present invention generally relate to systems, apparatuses, and methods used to form solar cell devices using processing modules adapted to perform one or more processes in the formation of the solar cell devices. In one embodiment, the system provides an inline inspection system of solar cell devices within a solar cell production line while collecting and using metrology data to diagnose, tune, or improve production line processes during manufacture of solar cell devices. In one embodiment, the inspection system provides an on-the-fly characterization module positioned downstream from one or more processing tools wherein the characterization module is configured to measure on-the-fly one or more properties of one or more photovoltaic layers formed on a substrate surface and a system controller in communication with the characterization module and the one or more processing tools, where the system controller is configured to analyze information received from the characterization module.
(FR) La présente invention concerne en général des systèmes, des appareils, et des procédés utilisés pour former des dispositifs de cellules solaires utilisant des modules de traitement adaptés pour réaliser un ou plusieurs processus lors de la formation de dispositifs de cellules solaires. Dans un mode de réalisation, le système fournit un système d'inspection sur chaîne de dispositifs de cellules solaires dans une chaîne de production de cellules solaires tout en collectant et utilisant des données de métrologie pour diagnostiquer, accorder, ou améliorer les processus de chaîne de production durant la fabrication des dispositifs de cellules solaires. Dans un mode de réalisation, le système d'inspection fournit un module de caractérisation à la volée positionné en aval d'un ou de plusieurs outils de traitement, le module de caractérisation étant configuré pour mesurer à la volée une ou plusieurs propriétés d'une ou de plusieurs couches photovoltaïques formées sur une surface de substrat, ainsi qu'un régulateur système communiquant avec le module de caractérisation et le ou les outils de traitement, le régulateur système étant configuré pour analyser les informations reçues du module de caractérisation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)