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1. (WO2011017222) METHOD AND APPARATUS FOR DRY CLEANING A COOLED SHOWERHEAD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/017222    International Application No.:    PCT/US2010/043940
Publication Date: 10.02.2011 International Filing Date: 30.07.2010
IPC:
H01L 21/205 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US) (For All Designated States Except US).
GRIFFIN, Kevin [US/US]; (US) (For US Only).
KRYLIOUK, Olga [US/US]; (US) (For US Only).
SU, Jie [CN/US]; (US) (For US Only)
Inventors: GRIFFIN, Kevin; (US).
KRYLIOUK, Olga; (US).
SU, Jie; (US)
Agent: PATTERSON, B. Todd; Patterson & Sheridan, L.L.P. 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500 Houston, Texas 77056-6582 (US)
Priority Data:
61/231,117 04.08.2009 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR DRY CLEANING A COOLED SHOWERHEAD
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR LE NETTOYAGE À SEC D'UNE POMME DE DOUCHE AVEC UN FLUIDE DE REFROIDISSEMENT
Abstract: front page image
(EN)The present invention generally provides a method and apparatus for cleaning a showerhead of a deposition chamber, such as a metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) chamber. In one embodiment, the showerhead is cleaned without exposing the chamber to the atmosphere outside of the chamber (i.e., in situ cleaning). In one embodiment, flow of liquid coolant through a cooling system that is in fluid communication with the showerhead is redirected to bypass the showerhead, and the liquid coolant is drained from the showerhead. In one embodiment, any remaining coolant is flushed from the showerhead via a pressurized gas source. In one embodiment, the showerhead is then heated to an appropriate cleaning temperature. In one embodiment, the flow of liquid coolant from the cooling system is then redirected to the showerhead and the system is adjusted for continued processing. Thus, the entire showerhead cleaning process is performed with minimal change to the flow of coolant through the cooling system.
(FR)La présente invention concerne globalement un procédé et un dispositif pour le nettoyage à sec de la pomme de douche d'une chambre de dépôt, telle qu'une chambre de dépôt chimique en phase vapeur par composés organométalliques (MOCVD). Selon un mode de réalisation, la pomme de douche est nettoyée sans exposer la chambre à l'atmosphère extérieure de la chambre (par ex., nettoyage in situ). Selon un mode de réalisation, l'écoulement d'un liquide de refroidissement à travers un système de refroidissement se trouvant en communication fluidique avec la pomme de douche est redirigé pour contourner la pomme de douche, et le liquide de refroidissement est drainé depuis la pomme de douche. Selon un mode de réalisation, tout le liquide de refroidissement restant est évacué de la pomme de douche via une source de gaz sous pression. Selon un mode de réalisation, la pomme de douche est alors chauffée jusqu'à une température de nettoyage appropriée. Selon un mode de réalisation, l'écoulement du liquide de refroidissement depuis le système de refroidissement est ensuite redirigé vers la pomme de douche et le système est ajusté pour un traitement continu. Ainsi, tout le processus de nettoyage de la pomme de douche est exécuté pratiquement sans aucune modification de l'écoulement de liquide de refroidissement à travers le système de refroidissement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)