WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2011017197) MONITORING OF ELECTROPLATING ADDITIVES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/017197    International Application No.:    PCT/US2010/043764
Publication Date: 10.02.2011 International Filing Date: 29.07.2010
IPC:
C25D 21/14 (2006.01), C25D 21/12 (2006.01), C25D 21/18 (2006.01), C25D 17/00 (2006.01)
Applicants: NOVELLUS SYSTEMS, INC. [US/US]; 4000 North First Street San Jose, CA 95134 (US) (For All Designated States Except US).
WILLEY, Mark, J. [US/US]; (US) (For US Only).
GUO, Lian [CN/US]; (US) (For US Only).
MAYER, Steven, T. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: WILLEY, Mark, J.; (US).
GUO, Lian; (US).
MAYER, Steven, T.; (US)
Agent: WEAVER, Jeffrey, K.; WEAVER AUSTIN VILLENEUVE & SAMPSON LLP P.O. Box 70250 Oakland, California 94612-0250 (US)
Priority Data:
12/462,354 03.08.2009 US
Title (EN) MONITORING OF ELECTROPLATING ADDITIVES
(FR) SURVEILLANCE D'ADDITIFS DE DÉPÔT ÉLECTROLYTIQUE
Abstract: front page image
(EN)The working electrode in the flow channel of a flow-through electrolytic detection cell is preconditioned by flowing a preconditioning electroplating solution with preconditioner species through the flow channel while applying a negative potential. Flow of liquid through the flow channel is rapidly switched from preconditioning solution to a target solution containing an organic target solute to be measured. The transient response of the system resulting from exposure of the working electrode to organic target solute is detected by measuring current density during an initial transient time period. An unknown concentration of target solute is determined by comparing the transient response with one or more transient responses characteristic of known concentrations. A preferred measuring system is operable to switch flow from preconditioning solution to target solution in about 200 milliseconds or less.
(FR)La présente invention concerne une électrode de travail dans le canal d'écoulement d'une cellule de détection électrolytique à flux continu qui est préconditionnée en faisant circuler une solution de dépôt électrolytique de préconditionnement avec une espèce de préconditionneur dans le canal d'écoulement tout en appliquant un potentiel négatif. Le flux de liquide dans le canal d'écoulement est rapidement détourné de la solution de préconditionnement vers une solution cible contenant un soluté cible organique à mesurer. La réponse transitoire du système résultant de l'exposition de l'électrode de travail au soluté cible organique est détectée par une mesure de la densité du courant pendant une période de temps transitoire initiale. Une concentration inconnue de soluté cible est déterminée par comparaison de la réponse transitoire avec une ou plusieurs réponse(s) transitoire(s) caractéristique(s) de concentrations connues. Un système de mesure préféré fonctionne pour détourner le flux d'une solution de préconditionnement vers une solution cible en 200 millisecondes environ ou moins.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)