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1. (WO2011016176) PULSE LASER MACHINING APPARATUS AND PULSE LASER MACHINING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/016176    International Application No.:    PCT/JP2010/004197
Publication Date: 10.02.2011 International Filing Date: 24.06.2010
IPC:
B23K 26/04 (2006.01), B23K 26/00 (2006.01), B23K 26/08 (2006.01), G02B 26/10 (2006.01)
Applicants: TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 2-2, Uchisaiwaicho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008503 (JP) (For All Designated States Except US).
HAYASHI, Makoto [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HAYASHI, Makoto; (JP)
Agent: IKEGAMI, Tetsuma; No. 403 Ginyou Bldg. 9-40, Kitasaiwai 2-chome Nishi-ku, Yokohama-shi Kanagawa 2200004 (JP)
Priority Data:
2009-180285 03.08.2009 JP
Title (EN) PULSE LASER MACHINING APPARATUS AND PULSE LASER MACHINING METHOD
(FR) APPAREIL D'USINAGE À LASER PULSÉ ET PROCÉDÉ D'USINAGE AU LASER PULSÉ
(JA) パルスレーザ加工装置およびパルスレーザ加工方法
Abstract: front page image
(EN)Provided are a pulse laser machining apparatus and a pulse laser machining method, capable of enhancing a positioning precision of an irradiation spot of a pulse laser beam, performing stable fine machining of a surface of a large workpiece, and increasing the machining speed. The pulse laser machining apparatus is provided with a reference clock oscillation circuit for generating a clock signal, a laser oscillator for emitting a pulse laser beam synchronous with the clock signal, a laser beam scanner for scanning with a pulse laser beam only in one dimensional direction in synchronization with the clock signal, a stage on which the workpiece can be placed and which moves in a direction perpendicular to the one dimensional direction, a pulse picker which is provided in a light path between the laser oscillator and the laser beam scanner and which switches the passage and interception of the pulse laser beam in synchronization with the clock signal, and a pulse picker control unit for controlling the pulse picker on the basis of the number of light pulses of the pulse laser beam.
(FR)L'invention porte sur un appareil d'usinage à laser pulsé et sur un procédé d'usinage au laser pulsé, qui sont aptes à améliorer la précision de positionnement d'un spot d'irradiation d'un faisceau laser pulsé, à réaliser un usinage fin stable d'une surface d'une pièce à travailler de grande dimension, et à accroître la vitesse d'usinage. L'appareil d'usinage à laser pulsé comporte un circuit oscillant d'horloge de référence servant à produire un signal d'horloge, un oscillateur laser servant à émettre un faisceau laser pulsé en synchronisme avec le signal d'horloge, un scanner de faisceau laser servant à balayer avec un faisceau laser pulsé uniquement dans une direction dimensionnelle en synchronisation avec le signal d'horloge, un étage sur lequel la pièce à travailler peut être placée et qui se déplace dans une direction perpendiculaire à une première direction dimensionnelle, et un preneur d'impulsion qui est disposé dans le trajet de la lumière entre l'oscillateur laser et le scanner de faisceau laser, et qui commute le passage et l'interception du faisceau d'impulsion laser en synchronisation avec le signal d'horloge, et unité de commande du preneur d'impulsion destinée à commander le preneur d'impulsion sur la base du nombre d'impulsions lumineuses du faisceau laser pulsé.
(JA)【目的】パルスレーザビームの照射スポットの位置決め精度を向上させ、大型の被加工物表面の安定した微細加工とその高速化を可能にするパルスレーザ加工装置およびパルスレーザ加工方法を提供する 【構成】クロック信号を発生する基準クロック発振回路と、クロック信号に同期したパルスレーザビームを出射するレーザ発振器と、クロック信号に同期してパルスレーザビームを1次元方向のみに走査するレーザビームスキャナと、被加工物を載置可能で上記1次元方向に直交する方向に移動するステージと、レーザ発振器とレーザビームスキャナとの間の光路に設けられ、クロック信号に同期してパルスレーザビームの通過と遮断を切り替えるパルスピッカーと、パルスレーザビームの光パルス数に基づき、パルスピッカーを制御するパルスピッカー制御部と、を備えることを特徴とするパルスレーザ加工装置。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)