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1. (WO2011016148) ADHESIVE SHEET FOR FIXING MOLD, AND ADHESIVE TAPE FOR FIXING MOLD, AND PROCESS FOR PRODUCING FINE STRUCTURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/016148    International Application No.:    PCT/JP2009/068384
Publication Date: 10.02.2011 International Filing Date: 27.10.2009
IPC:
B29C 59/02 (2006.01), B29C 33/30 (2006.01), C09J 7/02 (2006.01), C09J 133/04 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: NITTA CORPORATION [JP/JP]; 4-26, Sakuragawa 4-chome, Naniwa-ku, Osaka-shi, Osaka 5560022 (JP) (For All Designated States Except US).
HYOGO-KEN [JP/JP]; 10-1, Shimoyamatedori 5-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508567 (JP) (For All Designated States Except US).
NAKANO, Shinichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KAWAHARA, Shinichiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MATSUI, Shinji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OKADA, Makoto [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NAKANO, Shinichi; (JP).
KAWAHARA, Shinichiro; (JP).
MATSUI, Shinji; (JP).
OKADA, Makoto; (JP)
Agent: FUKAI, Toshikazu; (JP)
Priority Data:
2009-184475 07.08.2009 JP
Title (EN) ADHESIVE SHEET FOR FIXING MOLD, AND ADHESIVE TAPE FOR FIXING MOLD, AND PROCESS FOR PRODUCING FINE STRUCTURE
(FR) FEUILLE ADHÉSIVE POUR FIXER UN MOULE, ET BANDE ADHÉSIVE POUR FIXER UN MOULE, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE STRUCTURE FINE
(JA) モールド固定用粘着シートおよびモールド固定用粘着テープ、並びに微細構造の製造方法
Abstract: front page image
(EN)Disclosed is an adhesive sheet for fixing a mold, which contains a side-chain crystalline polymer as the main component. The side-chain crystalline polymer can be crystallized at a temperature lower than the melting point thereof, becomes fluid at a temperature equal to or higher than the melting point, and has a storage modulus (G') of 1 × 102 to 1 × 105 Pa at a temperature 10°C higher than the melting point. Also disclosed is an adhesive tape for fixing a mold, which comprises a base film and adhesive layers arranged on the both surfaces of the base film, wherein at least the adhesive layer arranged on the mold-side surface of the base film comprises the adhesive sheet. Further disclosed is a process for producing a fine structure using the adhesive sheet, which comprises the steps of: fixing a mold on a base through the adhesive sheet; pressing the surface of a coating film comprising a curable resin composition by means of the fixed mold to transfer a fine pattern of the mold to the coating film; and curing the coating film on which the fine pattern has been transferred to produce the fine structure.
(FR)L'invention concerne une feuille adhésive pour fixer un moule, contenant un polymère cristallin à chaîne latérale en tant que composant principal. Le polymère cristallin à chaîne latérale peut être cristallisé à une température inférieure au point de fusion correspondant, devient fluide à une température égale ou supérieure au point de fusion, et a un module de conservation (G') de 1 × 102 à 1 × 105 Pa à une température de 10 °C supérieure au point de fusion. L'invention concerne également une bande adhésive pour fixer un moule, comprenant un film de base et des couches adhésives disposées sur les deux surfaces du film de base, au moins la couche adhésive disposée sur la surface du côté du moule du film de base comprenant la feuille adhésive. L'invention concerne en outre un procédé de production d'une structure fine à l'aide de la feuille adhésive, comprenant les étapes consistant à fixer un moule sur une base, par le biais de la feuille adhésive ; à comprimer la surface d'un film de revêtement, comprenant une composition de résine durcissable, au moyen du moule fixe, pour transférer un motif fin du moule au film de revêtement ; et à durcir le film de revêtement, sur lequel le motif fin a été transféré, afin de produire la structure fine.
(JA) 側鎖結晶性ポリマーを主成分として含有するモールド固定用粘着シートである。前記側鎖結晶性ポリマーは、融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示すとともに、前記融点+10℃における貯蔵弾性率G’が1×102~1×105Paである。基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくともモールド側の粘着剤層が、前記粘着シートからなるモールド固定用粘着テープである。前記粘着シートを用いて微細構造を製造する方法であり、前記粘着シートを介してモールドを台座に固定する工程と、固定されたモールドで、硬化性樹脂組成物からなる皮膜の表面を加圧し、モールドの微細パターンを転写する工程と、微細パターンが転写された皮膜を硬化させて微細構造を得る工程と、を含む。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)