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Pub. No.:    WO/2011/013650    International Application No.:    PCT/JP2010/062586
Publication Date: 03.02.2011 International Filing Date: 27.07.2010
H01J 37/22 (2006.01), G01B 15/04 (2006.01), H01J 37/147 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
FUKAYA Ritsuo [JP/JP]; (JP) (For US Only).
UEDA Kazuhiro [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: FUKAYA Ritsuo; (JP).
UEDA Kazuhiro; (JP)
Agent: HIRAKI Yusuke; Kamiya-cho MT Bldg. 19F, 3-20, Toranomon 4-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
Priority Data:
2009-174542 27.07.2009 JP
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract: front page image
(EN)A charged-particle-beam device is characterized in that a template image to be used in template matching is automatically rotated, when conducting an automatic measurement, according to a predetermined procedure, of a pattern that is arranged on a sample and is symmetrical to the rotating axis, by an angle (θ1) calculated from the coordinates on the sample. With this method, it became possible to reduce the workload required when making a recipe, because the same template can be used repeatedly, which is the same as when observing or measuring multiple elements that are arranged repeatedly in grid-like form, when conducting an automatic measurement of a pattern regularly arranged symmetrical to the rotating axis.
(FR)Un dispositif de faisceau de particules chargées est caractérisé en ce qu'on fait pivoter automatiquement d'un angle (θ1) calculé par rapport aux coordonnées de l'échantillon une image de modèle à utiliser dans la mise en correspondance d'un modèle, lorsqu'on réalise une mesure automatique, selon une procédure prédéterminée, d'une configuration disposée sur un échantillon et symétrique par rapport à l'axe de rotation. Grâce à ce procédé, il devient possible de réduire la charge de travail nécessaire pour réaliser un processus, du fait qu'on peut utiliser le même modèle de façon répétitive, ce qui équivaut à observer ou mesurer des éléments multiples disposés de manière répétitive sous une forme de grille lorsqu'on mène une mesure automatique d'une configuration disposée régulièrement et symétriquement par rapport à l'axe de rotation.
(JA) 本発明の荷電粒子線装置は、試料上に回転軸対称に配置されたパターンを、予め定めた手順に従って自動的に測定する際に、テンプレートマッチングに用いるテンプレート画像を、試料上の座標から算出した角度(θ1)だけ自動的に回転させることを特徴とする。 これにより、回転軸対称に規則的に配置されたパターンを自動測定する際に、格子状に反復して配列された複数の素子を観察又は測定する場合と同じように、同一のテンプレートを繰り返し使うことができるので、レシピを作成する際の作業量を減らすことが可能になった。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)