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1. (WO2011013373) MEASURING APPARATUS, MEASURING METHOD, AND PROGRAM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/013373    International Application No.:    PCT/JP2010/004802
Publication Date: 03.02.2011 International Filing Date: 28.07.2010
IPC:
G01B 11/25 (2006.01), G06T 1/00 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP) (For All Designated States Except US).
TAKABAYASHI, Shiki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YOSHIKAWA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: TAKABAYASHI, Shiki; (JP).
YOSHIKAWA, Hiroshi; (JP)
Agent: ABE, Takuma; C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
Priority Data:
2009-176525 29.07.2009 JP
Title (EN) MEASURING APPARATUS, MEASURING METHOD, AND PROGRAM
(FR) APPAREIL DE MESURE, PROCÉDÉ DE MESURE ET PROGRAMME
Abstract: front page image
(EN)A measuring apparatus includes a projection control unit configured to cause a projection unit to project, onto an object, a first light pattern with light and dark portions, a second light pattern, which is smaller in distance between the light and dark portions than that of the first light pattern and has a boundary position between the light and dark portions common to the first light pattern, and a third light pattern in which the light and dark portions of the second light pattern are reversed to each other, an acquisition unit configured to acquire a first captured image of the object onto which the first light pattern is projected, a second captured image of the object onto which the second light pattern is projected, and a third captured image of the object onto which the third light pattern is projected, and a calculation unit configured to calculate the boundary position between the light and dark portions of the first captured image based on the second and the third captured image to measure the position of the object.
(FR)La présente invention se rapporte à un appareil de mesure comprenant un module de commande de projection qui est configuré de façon à amener un module de projection à projeter, sur un objet, un premier motif de lumière avec des parties claires et les parties foncées. Le module de projection est également amené à projeter un deuxième motif de lumière dont une distance entre les parties claires et les parties foncées est plus courte que celle du premier motif de lumière et qui possède une position limite entre les parties claires et les parties foncées qui est commune au premier motif de lumière. Par ailleurs, le module de projection est amené à projeter un troisième motif de lumière dans lequel les parties claires et les parties foncées sont inversées l'une par rapport à l'autre. L'appareil de mesure selon l'invention comprend également un module d'acquisition qui est configuré de façon à acquérir une première image capturée de l'objet sur lequel le premier motif de lumière est projeté. Le module d'acquisition est configuré par ailleurs de façon à acquérir une deuxième image capturée de l'objet sur lequel le deuxième motif de lumière est projeté, et une troisième image capturée de l'objet sur lequel le troisième motif de lumière est projeté. D'autre part, l'appareil de mesure selon l'invention comprend un module de calcul qui est configuré de façon à calculer la position limite entre les parties claires et les parties foncées de la première image capturée, sur la base de la deuxième et de la troisième image capturée, de sorte à mesurer la position de l'objet.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)